[实用新型]一种多层级晶圆承载盒

权利要求书

1.一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：包括盒体(1)、多个与盒体(1)相匹配的内储盒(2)、以及驱动内储盒(2)移动的调节组件(3)，所述内储盒(2)内部设有存储组件(6)；

所述调节组件(3)包括承载板(301)，所述盒体(1)内腔左右两侧均开设有两个滑动槽(302)，所述承载板(301)两端均固定连接有与滑动槽(302)配合的滑动块(303)，所述盒体(1)前后两侧开设有多个滑槽(304)，所述内储盒(2)两侧均固定连接有固定块(305)，所述固定块(305)设于滑槽(304)内部且与盒体(1)滑动连接，所述内储盒(2)与承载板(301)相贴合；

所述存储组件(6)包括两个弧形底座(601)，两个所述弧形底座(601)分别设于内储盒(2)内腔两侧且与内储盒(2)滑动连接，两个所述弧形底座(601)中部设有晶圆片(602)，所述晶圆片(602)外侧与两个弧形底座(601)侧弧面相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述滑动槽(302)内部通过轴承转动连接有螺纹杆(309)，所述螺纹杆(309)与滑动块(303)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述盒体(1)一侧底部两端均开设有转动槽，所述转动槽内部通过轴承转动连接有转动杆(306)，所述盒体(1)一侧底部两侧均设有皮带轮(307)，所述转动杆(306)一端贯穿盒体(1)且与皮带轮(307)轴心处固定连接，两个所述皮带轮(307)外侧活动套接有传动带(308)。

4.根据权利要求3所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述螺纹杆(309)底部固定连接有第一锥齿轮(3010)，所述转动杆(306)外周两侧固定连接有第二锥齿轮(3011)，所述第二锥齿轮(3011)与第一锥齿轮(3010)啮合连接,所述转动杆(306)两端的两个所述螺纹杆(309)外周螺纹相反。

5.根据权利要求4所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述盒体(1)一侧底部固定连接有固定台，所述固定台顶部固定连接有电机(3012)，所述电机(3012)输出端与靠近电机(3012)一侧的皮带轮(307)轴心处固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述内储盒(2)内腔两侧均固定连接有固定杆(603)，所述弧形底座(601)一侧开设有内槽，所述固定杆(603)一端固定连接有连接块(604)，所述连接块(604)设于内槽内部且与弧形底座(601)滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述连接块(604)一端固定连接有第一复位弹簧(605)，所述第一复位弹簧(605)设于内槽内部且一端与弧形底座(601)固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述盒体(1)的顶部活动套接有盒盖(4)，所述盒盖(4)底部两侧设有缓冲组件(5)，所述缓冲组件(5)包括压合板(501)，所述盒盖(4)底部开设有空腔(502)，所述压合板(501)设于空腔(502)内部且与盒盖(4)滑动连接，所述晶圆片(602)外侧与压合板(501)底部相贴合，所述压合板(501)顶部固定连接有固定板(503)。

9.根据权利要求8所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述盒盖(4)底部两侧均开设有T形槽(504)，所述盒盖(4)底部两侧均设有移动板(505)，所述移动板(505)顶部固定连接有移动块(506)，所述移动块(506)设于T形槽(504)内部且与T形槽(504)滑动连接，所述移动块(506)一端固定连接有第二复位弹簧(507)。

10.根据权利要求9所述的一种多层级晶圆承载盒，其特征在于：所述固定板(503)与移动板(505)中部设有连接板(508)，所述固定板(503)两端与移动板(505)底部固定连接有固定座(509)，所述连接板(508)两端分别设于固定座(509)内部且通过轴承与固定座(509)活动铰接。