[实用新型]酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置

说明书

本实用新型公开了酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座，所述底座上端左部安装有溶解釜体，所述溶解釜体上端中部安装有加速混合装置，所述溶解釜体上端左部安装有进料口，所述溶解釜体左端下部安装有排渣口，所述溶解釜体右端下部安装有加热清理装置，所述所述底座上端右部安装有储存釜体，所述储存釜体右端下部安装有出料口，所述溶解釜体和储存釜体前端和后端共同安装有检测回流装置。本实用新型所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，通过加速混合装置和检测回流装置不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质，通过加热清理装置避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻液技术领域，特别涉及酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置。

背景技术

蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。从理论上讲，凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂，都可以用来蚀刻敷铜箔板。尤其是现如今的科技飞速发展，半导体的制作工艺也在飞速发展，所以蚀刻液的使用及生产就显得尤为重要。现有的酸性蚀刻液在进行电解提铜系统溶解吸收时，蚀刻液需要与氯气进行接触，但是蚀刻液与氯气接触时间短，导致蚀刻液与氯气的混合效果较差，使蚀刻液中的亚铜离子来不及转换成具有蚀刻能力的铜离子，就重新回到了蚀刻槽，不仅影响氯气使用效果和质量，同时也导致蚀刻液的品质较差。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座，所述底座上端左部安装有溶解釜体，所述溶解釜体上端中部安装有加速混合装置，所述溶解釜体上端左部安装有进料口，所述溶解釜体左端下部安装有排渣口，所述溶解釜体右端下部安装有加热清理装置，所述底座上端右部安装有储存釜体，所述储存釜体右端下部安装有出料口，所述溶解釜体和储存釜体前端和后端共同安装有检测回流装置。

优选的，所述加速混合装置包括电机和支撑板，所述电机输出端固定安装有转轴，所述转轴外表面安装有两个搅拌叶，所述支撑板上端安装有射流器，所述射流器上端左部安装有氯气接口，所述支撑板安装在溶解釜体左端上部，所述电机安装在溶解釜体上端中部。蚀刻液首先通过进料口进入溶解釜体内，此时通过加速混合装置上的射流器将氯气导入溶解釜体内，同时再通过电机带动转轴进行转动，转轴从而带动其上的搅拌叶进行转动，从而搅动溶解釜体内的蚀刻液，使其能够更好地与氯气进行混合。

优选的，所述检测回流装置包括控制器，所述控制器右端下部安装有水质传感器，所述控制器安装在储存釜体前端下部，所述溶解釜体和储存釜体前端下部共同安装有输送泵，所述溶解釜体和储存釜体后端下部共同安装有回流泵。蚀刻液混合完毕后通过检测回流装置上的输送泵将蚀刻液送入储存釜体内，接着通过水质传感器对蚀刻液进行检测，当其达不到标准时，通过回流泵将其又输送至溶解釜体内进行再处理，不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质。

优选的，所述加热清理装置包括加热器，所述加热器左端安装有连接座，所述连接座左端安装有加热管，所述加热器通过连接座安装在溶解釜体右端下部。当蚀刻液处理完成后，通过进料口将清洗液导入溶解釜体内，此时通过搅拌叶对清洗液进行搅动，并通过加热清理装置上的加热器带动加热管将清洗液加热，从而对溶解釜体内氯气和蚀刻液进行净化处理，不仅避免溶解釜体内会有残留物，同时也避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

优选的，所述搅拌叶与溶解釜体之间存在间隙，且搅拌叶下端面高于加热管上端面。

优选的，所述控制器与水质传感器之间为电性连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：