[实用新型]一种进出检料仓

说明书

本实用新型公开了一种进出检料仓，它涉及晶圆检料技术领域，其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；标签打印机，所述标签打印机用于打印标签；物料传送装置，所述物料传送装置与所述环形轨道传输机构对接，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送。采用上述技术方案后，本实用新型能够节约人工，提高效率，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检料技术领域，具体涉及一种进出检料仓。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆在未加工或加工完成后，在其上都会贴有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库前，需要对每个晶圆进行字符识别，传统的晶圆入库一般采用运输晶舟盒，然后人工对其进行字符识别，再通过人工运输送入库中，这样长期劳作下，会降低运输及入库的效率，延长晶圆的检料速度，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高，因此需要一种机械化设备代替人工。

有鉴于此，本实用新型针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工，提高效率，降低成本的检料仓。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：

一种进出检料仓，其包括

工作台，

环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上；

多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；

多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；

标签打印机，所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；

多个物料传送装置，所述物料传送装置与所述环形轨道传输机构对接，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送；

多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及第一夹取机构，所述第一夹取机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动，所述换向机构用于带动晶舟盒旋转。

进一步，所述环形轨道传输机构包括环形轨道、皮带、多个皮带轮、多个推板及多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述物料平台设置在环形轨道上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。

进一步，所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。