[实用新型]自动进样设备

说明书

本实用新型公开了一种自动进样设备，包括：防尘罩，防尘罩限定出检测空间，防尘罩具有与检测空间连通的进气口和出气口；载台，载台设于防尘罩内，载台设有样品台，样品台与载台可转动相连，样品台用于放置样品瓶，样品瓶包括瓶身和样品盖，瓶身的顶部具有敞开口，样品盖盖设于敞开口处；控制模块、开盖模块和取样模块，控制模块分别与开盖模块和取样模块通讯相连，开盖模块和取样模块位于检测空间内，开盖模块具有真空吸嘴，真空吸嘴适于将样品盖吸住移走，取样模块被构造成在真空吸嘴将样品盖吸住移走后，抽取瓶身内的待测样品。根据本实用新型的自动进样设备，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。

技术领域

本实用新型涉及硅片金属杂质检测技术领域，尤其是涉及一种自动进样设备。

背景技术

随着先进制程不断发展，器件关键尺寸越来越小，从65nm到现在7nm、5nm、3nm，对于制造工艺要求越来越高，对于微污染的控制越来越严格，因此对于微污染检测的准确性和检测限要求也越来越高。其中，微污染主要包含：金属污染、颗粒污染和AMC(AirborneMolecular Contamination，分子级污染)等。

针对于微污染检测，主要用到ICP-MS(inductively coupled plasma massspectrometry， ICP-MS，电感耦合等离子质谱仪)检测金属污染物含量，IC(ionchromatography，离子色谱)检测离子浓度和GC-MS(gas chromatograph-massspectrometer，气相色谱-质谱联用仪)检测空气中TVOC(Total Volatile OrganicCompounds，总挥发性有机化合物)含量等。

相关技术中，为避免人为污染，检测仪器均选择使用自动进样器进样，目前自动进样器的步骤，首先手动将样品放置于样品台，取下样品盖，然后将防尘罩罩设样品，编辑软件测试，最后自动进样管插入样品中进样测试。在手动取下样品盖的过程中样品暴露在空气中，以及在进样过程中被测样品暴露于空气中，以上过程均存在样品污染的可能性，影响检测结果的准确性和稳定性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种自动进样设备，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。

根据本实用新型实施例的自动进样设备，包括：防尘罩，所述防尘罩限定出检测空间，所述防尘罩具有与所述检测空间连通的进气口和出气口，所述进气口处设有过滤模块，所述过滤模块用于净化所述防尘罩内的空气；载台，所述载台设于所述防尘罩内，所述载台设有样品台，所述样品台与所述载台可转动相连，所述样品台用于放置样品瓶，所述样品瓶包括瓶身和样品盖，所述瓶身的顶部具有敞开口，所述样品盖盖设于所述敞开口处；控制模块、开盖模块和取样模块，所述控制模块分别与所述开盖模块和所述取样模块通讯相连，所述开盖模块和所述取样模块设于所述载台且位于所述检测空间内，所述开盖模块具有真空吸嘴，所述真空吸嘴适于将所述样品盖吸住移走，所述取样模块被构造成在所述真空吸嘴将所述样品盖吸住移走后，抽取所述瓶身内的待测样品。

根据本实用新型实施例的自动进样设备，通过将开盖模块和取样模块设置在检测空间内，当样品瓶放入样品台后，控制模块可以控制开盖模块的真空吸嘴移动到目标样品瓶的上方以将样品盖吸住移走，然后控制取样模块抽取瓶身内的待测样品，在取样完成后，开盖模块的真空吸嘴带动样品盖再次移回到该瓶身的上方并破真空以盖上样品盖，由此，可以在检测空间内实现对样品瓶开盖以及抽取样品瓶内的待测样品，避免了传统的手工开盖以及盖上防尘罩的步骤，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。

在本实用新型的一些实施例中，所述瓶身的敞开口处设有环形凸起，所述样品盖的底部具有环形翻边，所述环形翻边的内周壁与所述环形凸起的外周壁卡接配合。

在本实用新型的一些实施例中，所述防尘罩的侧壁设有适于所述样品瓶穿过的开口，所述开口处设有用于打开或关闭所述开口的开关门。