[实用新型]一种辊底式退火炉的冷却装置

说明书

本实用新型提供一种辊底式退火炉的冷却装置，包括冷却装置本体，所述冷却装置本体表面的两侧固定连接有固定板A，所述固定板A的一侧螺纹连接有螺纹杆A，且螺纹杆A贯穿固定板A，所述螺纹杆A的一端固定连接有固定板B，所述固定板B的底端螺纹连接有螺纹杆B。本实用新型提供的辊底式退火炉的冷却装置通过固定限位机构之间的相互配合，可对支撑杆进行调节固定，从而可对冷却装置本体的高度进行调节，进而可根据辊底式退火炉的辊式传送带的高度来对支撑杆的高度进行调节，以使得该装置可根据不同的高度的辊底式退火炉的辊式传送带相互适配安装，提高该冷却装置的适用性，且结构简单，操作方便，便于快速的进行调节处理。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其涉及一种辊底式退火炉的冷却装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，在对辊底式退火炉进行使用操作时，需要在后续的辊式传送带上安装冷却装置对工件进行加速冷却，目前的冷却装置在使用时，大都无法对其高度进行调节，使得冷却装置只能单独的对同一高度的退火炉进行安装使用，导致适用性较差，同时目前的冷却装置在和退火炉上的输送辊上固定的牢固性较差，导致使用时容易使得冷却装置发生晃动偏移，使得实用性较差。

实用新型内容

本实用新型提供一种辊底式退火炉的冷却装置，解决了目前的冷却装置在使用时，大都无法对其高度进行调节，使得冷却装置只能单独的对同一高度的退火炉进行安装使用，导致适用性较差，同时目前的冷却装置在和退火炉上的输送辊上固定的牢固性较差，导致使用时容易使得冷却装置发生晃动偏移，使得实用性较差的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的辊底式退火炉的冷却装置，包括冷却装置本体，所述冷却装置本体表面的两侧固定连接有固定板A，所述固定板A的一侧螺纹连接有螺纹杆A，且螺纹杆A贯穿固定板A，所述螺纹杆A的一端固定连接有固定板B，所述固定板B的底端螺纹连接有螺纹杆B，且螺纹杆B贯穿固定板B，所述螺纹杆B的顶端固定连接有夹块，所述冷却装置本体表面两侧固定板A的上方固定连接有定位块，所述定位块的顶端对称套设有支撑杆，且支撑杆贯穿定位块，所述支撑杆表面的两端开设有多组插孔，所述定位块的内腔设置有固定限位机构。

优选的，所述固定限位机构包括安装座、设置于所述定位块内腔的两侧，所述安装座的两端固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁远离安装座的一端套设有套杆，且套杆通过插孔贯穿支撑杆，所述套杆靠近滑杆的一端固定套设有挡块，所述滑杆外侧壁靠近安装座的一端滑动套设有弹簧。

优选的，所述定位块表面的一侧开设有两组操作通口，所述挡块表面的一侧固定连接有拉杆，且拉杆通过操作通口延伸至定位块的外部。

优选的，所述固定板B表面的一侧固定连接有定位杆，且定位杆贯穿固定板A。

优选的，所述两组所述支撑杆相互靠近的一端对称固定连接有连接横杆，且连接横杆贯穿支撑杆。

优选的，所述支撑杆的底端固定连接有万向轮，且万向轮上设置有制动装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过固定限位机构之间的相互配合，可对支撑杆进行调节固定，从而可对冷却装置本体的高度进行调节，进而可根据辊底式退火炉的辊式传送带的高度来对支撑杆的高度进行调节，以使得该装置可根据不同的高度的辊底式退火炉的辊式传送带相互适配安装，提高该冷却装置的适用性，且结构简单，操作方便，便于快速的进行调节处理。

2、通过从两侧对辊式传送带固定，然后通过从下方与辊式传送带进行固定的相互配合，可该冷却装置能够从多方向进行固定，提高该冷却装置固定安装时的稳定性与牢固性，从而提高该装置的实用性。

附图说明