[实用新型]一种光调制器

说明书

本实用新型公开了一种光调制器，包括设有依次连通的入光孔、第一内腔和出光孔的外壳，外壳的第一内腔中设有声光介质；声光介质的一侧端面上横向排列有至少两个电声换能器；每个电声换能器均连接有射频器接口；各射频器接口位于外壳上。本实用新型提供的光调制器，能同时对至少两束激光进行调制，可用于微加工和直写光刻等高速应用，效率高且体积小。

技术领域

本实用新型涉及激光设备领域，尤其涉及一种光调制器。

背景技术

光调制器可以改变光波的强度，而且还可调制光波的相位和偏振态，应用于数字调制光通信中，特别在外调制的光发射机和数据链路中应用很广泛，这是为了克服光纤链路的影响。光调制器是高速、短距离光通信的关键器件，是最重要的集成光学器件之一。其中，声光调制器是利用材料(如二氧化碲、熔融石英等)在超声波作用下产生应变而引起折射率变化，形成折射率光栅结构，光通过时产生衍射现象，衍射光的强度、频率、方向随着超声场的变化而变化，从而实现光调制。

激光可用于印刷。然而，目前的声光调制器其一般只设有一个激光通道，只能对一束激光进行光调制，用于印刷时其效率极慢。而同时设置多个依次排列的声光调制器时，其体积过大，成本高且难以安装。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光调制器，能同时对至少两束激光进行调制，可用于微加工和直写光刻等高速应用，效率高且体积小。

为实现上述目的，本实用新型提供一种光调制器，包括设有依次连通的入光孔、第一内腔和出光孔的外壳，外壳的第一内腔中设有声光介质；声光介质的一侧端面上横向排列有至少两个电声换能器；每个电声换能器均连接有射频器接口；各射频器接口位于外壳上。

作为本实用新型的进一步改进，所述声光介质的一侧端面上横向排列有至少三个电声换能器；各射频器接口位于外壳上且沿弧形排列。

作为本实用新型的更进一步改进，所述射频器接口排列成至少两列，每列设有至少三个且沿弧形排列的射频器接口。

作为本实用新型的更进一步改进，所述射频器接口排列成两列，每列的射频器接口数量为5-20个。

作为本实用新型的更进一步改进，相邻两列所述射频器对称布置。

作为本实用新型的更进一步改进，各所述电声换能器呈条状且其长度方向与激光入射方向相对应或平行。

作为本实用新型的更进一步改进，所述外壳上设有冷却结构。

作为本实用新型的更进一步改进，所述冷却结构包括相连接的进水口、水腔和出水口；所述水腔位于外壳内，水腔位于第一内腔的外侧且两者相隔离。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型的光调制器的优点为：

1、在一个光调制器的声光介质上设置至少两个电声换能器。各激光都遵循布拉格衍射原理。通过各电声换能器的启闭控制各路入射激光经过声光介质后是否射出衍射激光，衍射激光照射在加工面上。随着光调制器与加工面的相对移动以及一排出射激光的衍射激光数量和位置的变化，即可通过激光印刷出所需的图案，无需配合复杂的的移动机构即可完成各种图案的印刷，效率高且设备体积小。

2、各射频器接口位于外壳上且沿弧形排列，即使其数量较多也能节省空间，有利于缩短光调制器的外壳整体长度，实现光调制器的小型化设计，安装更方便。

3、射频器接口排列成至少两列，在成倍增加电声换能器的同时不会增加外壳的整体长度，能同时对更多光束进行调制。

4、相邻两列所述射频器接口沿激光入射方向对称布置，让光调制器的左右重量分布更平均。

5、通过冷却结构能给光调制器进行降温，提高其持续工作的能力。