[实用新型]一种用于洁净室基座安装用移动设备

说明书

本实用新型提供了一种用于洁净室基座安装用移动设备，包括托板和万向轮，所述托板下方四个角分别连接万向轮，所述托板上方左侧连接有左挡板，所述托板上方右侧连接有右挡板，所述托板上方后侧连接有后挡板，所述左挡板沿后挡板左侧边垂直焊接，所述右挡板沿后挡板右侧边垂直焊接，所述左挡板、右挡板和后挡板围成U型结构，所述左挡板内侧连接有左衬板，所述右挡板内侧连接有右衬板，所述后挡板内侧连接有后衬板，所述左衬板、右衬板、后衬板底部与托板之间连接有底部衬板，所述后衬板和后挡板中间相同部位开设有竖立形的椭圆形安装孔。本实用新型设置多方位的橡胶衬板避免吊装和移动过程中对基座支腿表面造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及洁净室搬运吊装技术领域，具体是一种用于洁净室基座安装用移动设备。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。目前通常采用钢构或混凝土基座进行隔振，且对基座表面的洁净度要求较高。

洁净室广泛地应用于半导体生产和其它对洁净度要求较高的工业上，在这些工业中在产品装配和检测时清洁的无颗粒环境是必须的。一般地，为了保持所述洁净室内空气的清洁度，在基座安装时通常采用龙门架进行吊装，常规的叉车等搬运工具无法进入洁净室。但是龙门架搬运基座时，基座经常出现摇晃不稳定等问题，造成基座碰撞损坏。经常需要多人扶正，移动效率低，人工成本大。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种用于洁净室基座安装用移动设备，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于洁净室基座安装用移动设备，包括托板和万向轮，所述托板下方四个角分别连接万向轮，所述托板上方左侧连接有左挡板，所述托板上方右侧连接有右挡板，所述托板上方后侧连接有后挡板，所述左挡板沿后挡板左侧边垂直焊接，所述右挡板沿后挡板右侧边垂直焊接，所述左挡板、右挡板和后挡板围成U型结构，所述左挡板内侧连接有左衬板，所述右挡板内侧连接有右衬板，所述后挡板内侧连接有后衬板，所述左衬板、右衬板、后衬板底部与托板之间连接有底部衬板，所述后衬板和后挡板中间相同部位开设有竖立形的椭圆形安装孔。

进一步地，所述托板由碳钢板制成矩形结构。

进一步地，所述左挡板、右挡板和后挡板均由碳钢板制成矩形结构。

进一步地，所述左衬板、右衬板、后衬板和底部衬板均为橡胶衬板。

进一步地，所述左挡板、右挡板竖立在托板上方，与托板左右侧边平行。

进一步地，所述后挡板竖立在托板上方，与托板后侧边平行。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过碳钢材质制成移动托盘，承载能力强，且设计U型挡板，并通过栓接固定基座支腿，避免至移动过程中基座出现晃动动问题，同时设置多方位的橡胶衬板避免吊装和移动过程中对基座支腿表面造成损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型使用时安装结构示意图。

图中1-托板，2-万向轮，3-左挡板，4-右挡板，5-后挡板，6-左衬板，7-右衬板，8-后衬板，9-底部衬板，10-固定孔，11-螺栓，12-基座，13-支腿。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。