[实用新型]一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座有效

专利信息
申请号: 202220662377.3 申请日: 2022-03-25
公开(公告)号: CN217003696U 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 马跃;李斌;刘国东 申请(专利权)人: 大连地拓重工有限公司
主分类号: F16M5/00 分类号: F16M5/00;F16F15/02;F16F15/067
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 116000 辽宁省大*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 精密仪器 自由度 被动 基座
【权利要求书】:

1.一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,包括顶板、金属弹簧和底座,其特征在于,所述金属弹簧为四个分别位于顶板底部四个角处,所述金属弹簧底部与底座连接,所述底座顶部左右两端分别连接有第一音圈电机,所述底座顶部前后两端分别连接有第二音圈电机,所述底座顶部中间位置连接有压电驱动器,所述顶板底部安装有速度传感器和位移传感器,所述底座顶部安装有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述顶板、底座均由不锈钢板制成矩形矩形结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述金属弹簧与顶板之间还连接有第一垫块,所述第一垫块为不锈钢垫块。

4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述金属弹簧与底座之间还连接有第二垫块,所述第二垫块为不锈钢垫块。

5.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述第一音圈电机、第二音圈电机和压电驱动器顶部均与顶板底部连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述控制器通过电缆与第一音圈电机、第二音圈电机、压电驱动器、速度传感器、位移传感器连接。

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