[实用新型]一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座有效
| 申请号: | 202220662377.3 | 申请日: | 2022-03-25 |
| 公开(公告)号: | CN217003696U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
| 发明(设计)人: | 马跃;李斌;刘国东 | 申请(专利权)人: | 大连地拓重工有限公司 |
| 主分类号: | F16M5/00 | 分类号: | F16M5/00;F16F15/02;F16F15/067 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 116000 辽宁省大*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 精密仪器 自由度 被动 基座 | ||
1.一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,包括顶板、金属弹簧和底座,其特征在于,所述金属弹簧为四个分别位于顶板底部四个角处,所述金属弹簧底部与底座连接,所述底座顶部左右两端分别连接有第一音圈电机,所述底座顶部前后两端分别连接有第二音圈电机,所述底座顶部中间位置连接有压电驱动器,所述顶板底部安装有速度传感器和位移传感器,所述底座顶部安装有控制器。
2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述顶板、底座均由不锈钢板制成矩形矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述金属弹簧与顶板之间还连接有第一垫块,所述第一垫块为不锈钢垫块。
4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述金属弹簧与底座之间还连接有第二垫块,所述第二垫块为不锈钢垫块。
5.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述第一音圈电机、第二音圈电机和压电驱动器顶部均与顶板底部连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的三自由度主被动隔振基座,其特征在于,所述控制器通过电缆与第一音圈电机、第二音圈电机、压电驱动器、速度传感器、位移传感器连接。
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