[实用新型]一种芯片清洗机的清洗装置有效
| 申请号: | 202220496259.X | 申请日: | 2022-03-09 |
| 公开(公告)号: | CN216937332U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
| 发明(设计)人: | 王青松 | 申请(专利权)人: | 武汉臻芯半导体设备有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人: | 杨建军 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 清洗 装置 | ||
1.一种芯片清洗机的清洗装置,包括清洗台(1),其特征在于:所述清洗台(1)的顶部固定连接有清洗框(2),所述清洗台(1)的顶部且位于清洗台(1)的下方设置有驱动机构(3);
所述驱动机构(3)包括驱动电机(31)和安装箱(32),所述安装箱(32)与清洗台(1)滑动连接,所述驱动电机(31)与清洗台(1)的顶部固定连接,所述驱动电机(31)的输出轴固定连接有螺纹杆(33),所述螺纹杆(33)的表面且位于安装箱(32)的内部螺纹连接有螺纹套管(34),所述螺纹套管(34)的一端与安装箱(32)的内壁固定连接,所述螺纹杆(33)的表面且位于螺纹套管(34)的右侧螺纹连接有螺纹套(35),所述螺纹套(35)与螺纹套管转动连接,所述螺纹套(35)的表面固定连接有第一锥齿轮(36),所述安装箱(32)的内壁通过转轴转动连接有传动杆(37),所述传动杆(37)的底端固定连接有与第一锥齿轮(36)相啮合的第二锥齿轮(38),所述安装箱(32)内壁的正面与背面之间转动连接有安装轴(39),所述安装轴(39)的表面固定连接有蜗轮(310),所述传动杆(37)的表面固定连接有与蜗轮(310)相适配的蜗杆(311),所述安装轴(39)的一端贯穿安装箱(32)并延伸至安装箱(32)的外部,所述安装轴(39)位于安装箱(32)外部的一端固定连接有固定组件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗机的清洗装置,其特征在于:所述螺纹杆(33)贯穿安装箱(32)并与安装箱(32)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种芯片清洗机的清洗装置,其特征在于:所述固定组件(4)包括安装板(41),所述安装板(41)的表面贯穿开设有限位孔(42),所述限位孔(42)的内壁固定连接有伸缩杆(43)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片清洗机的清洗装置,其特征在于:所述伸缩杆(43)远离限位孔(42)内壁的一端固定连接有限位板(44),所述限位板(44)与限位孔(42)的内壁滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗机的清洗装置,其特征在于:所述清洗台(1)的顶部固定连接有滑轨(5),所述安装箱(32)通过滑轨(5)与清洗台(1)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗机的清洗装置,其特征在于:所述清洗台(1)底部的四角均固定连接有支撑腿(6)。
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