[实用新型]一种高精度拼接测量平台

权利要求书

1.一种高精度拼接测量平台，其特征在于：包括测量机台、平面驱动组件以及形貌测量仪，所述测量机台顶部设置有测量窗口，所述形貌测量仪倒置地设置在所述测量窗口下方，且所述形貌测量仪与所述测量机台之间设置有升降驱动组件，所述平面驱动组件架设在所述测量窗口的侧边并露出所述测量窗口，所述平面驱动组件上设置有工件固定组件。

2.根据权利要求1所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述工件固定组件为电磁载物台，所述电磁载物台通过与其配合的磁性件夹持工件。

3.根据权利要求2所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述平面驱动组件包括X轴运动单元，所述X轴运动单元包括直线模组以及由所述直线模组驱动的主滑台，所述电磁载物台设置在所述主滑台上，所述X轴直线运动单元为两个，平行地设置在所述测量窗口的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述平面驱动组件还包括Y轴运动单元，所述Y轴运动单元包括设置在所述主滑台上的动力轮以及设置在所述电磁载物台上的侧移滑台，所述侧移滑台沿Y轴方向滑动设置，所述动力轮与所述侧移滑台驱动连接，所述主滑台上还设置有驱动所述动力轮的动力机构，所述动力轮绕X轴方向的轴转动，所述磁性件为在Y方向上具有长度的板件且横跨两个平面驱动组件。

5.根据权利要求4所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述X轴运动单元和Y轴运动单元均由直线电机驱动，且所述主滑台与所述侧移滑台均配合设置有光栅尺。

6.根据权利要求1所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述工件固定组件为真空吸附组件。

7.根据权利要求1-6中任一所述的一种高精度拼接测量平台，其特征在于：所述测量机台包括底座以及整体旋转台面，所述平面驱动组件设置在所述整体旋转台面上。