[实用新型]一种刻蚀清洗机硅片导向装置有效
| 申请号： | 202220117105.5 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN216528809U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 梁建 | 申请（专利权）人： | 釜川（无锡）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 | 代理人： | 张艳花 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 清洗 硅片 导向 装置 | ||
1.一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，包括：
支撑架(1)，所述支撑架(1)右壁开设有凹槽，所述支撑架(1)右壁开设的凹槽内壁活动卡接有滚筒(101)，所述滚筒(101)外壁螺纹连接有第一归正圈(102)，所述滚筒(101)外壁螺纹连接有第二归正圈(106)；
旋转机构，所述旋转机构安装在支撑架(1)左侧。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于：所述滚筒(101)外壁螺纹连接有第一归正锁紧圈(103)，所述第一归正锁紧圈(103)位于第一归正圈(102)左侧，所述滚筒(101)外壁固定连接有归正圈挡圈(104)，所述归正圈挡圈(104)位于第一归正圈(102)右侧。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于：所述滚筒(101)外壁螺纹连接有第二归正锁紧圈(105)，所述第二归正锁紧圈(105)位于第二归正圈(106)右侧。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于：所述旋转机构包括旋转柱(2)、旋转齿轮(202)、连接板(3)和链条(303)，所述连接板(3)左侧固定连接有减速机(301)，所述减速机(301)前端设有马达(302)，所述减速机(301)后端啮合连接有链条(303)，所述支撑架(1)左侧固定连接有连接块(108)，所述连接块(108)前端开设有圆孔，所述旋转柱(2)前端穿过连接块(108)前端开设的圆孔向前延伸，所述旋转柱(2)外壁固定连接有旋转齿轮(202)，所述旋转齿轮(202)与链条(303)啮合连接。
5.根据权利要求4所述的一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于：所述滚筒(101)左端固定连接有锥齿轮(107)，所述旋转柱(2)外壁固定连接有传动齿轮(201)，所述传动齿轮(201)与锥齿轮(107)啮合连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
