[发明专利]基板处理装置和用于基板处理装置的控制方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其包括：

基板传送部分，在所述基板传送部分中放置传送对象；以及

喷射系统单元，所述喷射系统单元包括：喷墨主体，其配置成从所述基板传送部分的上表面向所述传送对象喷射墨水，并在所述传送对象上打印；墨水模块传送部分，其配置成传送所述喷墨主体；排墨控制器，其配置成通过与所述喷墨主体互锁来控制所述喷墨主体的喷墨定时；速度测量部分，其配置成指定所述喷墨主体的移动速度；以及信号分离器，其配置成通过与所述速度测量部分互锁来接收所述喷墨主体的所述移动速度，并且将根据所述移动速度预测的预测移动信号传输到所述排墨控制器。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述喷射系统单元还包括编码器，所述编码器设置在所述墨水模块传送部分周围，并且配置成针对所述墨水模块传送部分的每个单位移动距离输出移动信号。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述信号分离器使用速度曲线和预测脉冲波曲线，所述速度曲线用于所述喷墨主体的移动，并且所述预测脉冲波曲线配置成根据所述速度曲线的速度产生预测脉冲波。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中所述速度曲线被分成等效加速度区间和等效速度区间，并且在所述等效速度区间中，相同间隔的所述预测脉冲波被传输到所述排墨控制器。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中在所述等效加速度区间中，间隔与所述等效加速度区间的斜率成比例变窄的所述预测脉冲波被传输到所述排墨控制器。

6.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中多个喷墨主体和多个排墨控制器互锁以喷射墨水，以及

所述信号分离器向所述多个排墨控制器中的每一个输出所述预测脉冲波。

7.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中所述排墨控制器通过对所述预测脉冲波的输入次数进行计数来获取所述喷墨主体的位置信息。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述墨水模块传送部分包括：模块基底，在所述模块基底中安装所述喷墨主体；致动器驱动器，其配置成在一个方向上传送所述模块基底；以及墨水模块位置控制器，其配置成通过控制所述致动器驱动器移动所述模块基底来控制墨水的喷射位置。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中所述墨水模块位置控制器通过与所述编码器互锁而从所述编码器获取所述模块基底的位置信息。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述基板传送部分还包括基底控制器，其配置成根据预定的工作命令来传送所述传送对象。

11.一种用于基板处理设备的控制方法，所述方法包括：

喷墨主体传送步骤，其中通过墨水模块传送部分移动设置在传送对象的上部部分中的喷墨主体；

速度测量步骤，其中测量所述喷墨主体的移动速度，并通过速度测量部分将所述移动速度转换成数字速度值，并将转换后的数字速度值传输到信号分离器；

信号分离器信号转换步骤，其中通过所述信号分离器产生响应于所述数字速度值而改变的预测移动信号；

信号分配步骤，其中将来自所述信号分离器的所述预测移动信号输出并分配给排墨控制器，并基于从所述排墨控制器预测的所述预测移动信号来确认所述喷墨主体的位置；以及

排墨控制步骤，其中基于从所述排墨控制器预测的所述预测移动信号来调整和设置所述喷墨主体的位置信息，并且当经调整的位置对应于喷墨位置时，发送排出命令以从所述喷墨主体喷射墨水。