[发明专利]抛光装置及其工作方法

权利要求书

1.一种抛光装置，包括：

相对设置的上抛光头和下抛光头；

固定设置于所述上抛光头上的上定盘以及固定设置于所述下抛光头上的下定盘；

贴附于所述上定盘表面上的上抛光垫以及贴附于所述下定盘表面上的下抛光垫；

其特征在于，所述抛光装置还包括：

设置在所述下定盘边缘的检测单元，用于检测所述下抛光垫的表面是否存在高度大于或等于预设阈值的凸起，获得检测结果；

与所述检测单元连接的报警单元，用于在所述检测结果指示所述下抛光垫表面存在高度大于或等于预设阈值的凸起时进行报警。

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述检测单元包括：

设置在所述下定盘边缘的检测光束发射接收模块，用于在所述下定盘旋转时，朝向所述下抛光垫表面发射检测光束，所述检测光束与所述下抛光垫表面平行，且与所述下抛光垫表面之间的垂直距离为所述预设阈值，接收被障碍物反射的所述检测光束；

与所述检测光束发射接收模块连接的处理模块，用于根据所述检测光束的路程判断所述下抛光垫表面是否存在高度大于或等于所述预设阈值的凸起。

3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，

所述处理模块具体用于：

在所述检测光束的路程小于第一距离的2倍时，判断所述下抛光垫表面存在高度大于或等于预设阈值的凸起；

在所述检测光束的路程不小于第一距离的2倍时，判断所述下抛光垫表面不存在高度大于或等于预设阈值的凸起；

其中，所述第一距离为所述下定盘边缘与所述下定盘中心的旋转轴之间的最小距离。

4.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述检测光束为红外光束或激光光束。

5.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述预设阈值为3-5mm。

6.一种抛光装置的工作方法，其特征在于，应用于如权利要求1-5中任一项所述的抛光装置，所述方法包括：

利用所述检测单元检测所述下抛光垫的表面是否存在高度大于或等于预设阈值的凸起，获得检测结果；

利用所述报警单元在所述检测结果指示所述下抛光垫表面存在高度大于或等于预设阈值的凸起时进行报警。

7.根据权利要求6所述的抛光装置的工作方法，其特征在于，应用于如权利要求2所述的抛光装置，所述方法包括：

利用所述检测光束发射接收模块在所述下定盘旋转时，朝向所述下抛光垫表面发射检测光束，所述检测光束与所述下抛光垫表面平行，且与所述下抛光垫表面之间的垂直距离为所述预设阈值，接收被障碍物反射的所述检测光束；

利用所述处理模块根据所述检测光束的路程判断所述下抛光垫表面是否存在高度大于或等于所述预设阈值的凸起。

8.根据权利要求7所述的抛光装置的工作方法，其特征在于，所述方法具体包括：

利用所述处理模块在所述检测光束的路程小于第一距离的2倍时，判断所述下抛光垫表面存在高度大于或等于预设阈值的凸起；在所述检测光束的路程不小于第一距离的2倍时，判断所述下抛光垫表面不存在高度大于或等于预设阈值的凸起；

其中，所述第一距离为所述下定盘边缘与所述下定盘中心的旋转轴之间的最小距离。

9.根据权利要求7所述的抛光装置的工作方法，其特征在于，所述检测光束为红外光束或激光光束。

10.根据权利要求6所述的抛光装置的工作方法，其特征在于，所述预设阈值为3-5mm。