[发明专利]一种表面具有BN涂层的SiC晶须及其熔盐法制备方法有效
| 申请号: | 202211629450.8 | 申请日: | 2022-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN115611642B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
| 发明(设计)人: | 王洪磊;乔爽;余金山;周新贵 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号: | C04B35/628 | 分类号: | C04B35/628;C04B35/565;C04B35/626 |
| 代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
| 地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 表面 具有 bn 涂层 sic 及其 法制 方法 | ||
1.一种表面具有BN涂层的SiC晶须的制备方法,其特征在于,所述BN涂层通过熔盐法在SiC晶须表面形成,所述BN涂层在SiC晶须表面呈鳞片状均布,BN涂层的BN为六方氮化硼结构,BN涂层的厚度在10~50nm范围内;
包括以下步骤:
一、粉体混合:将熔盐、生成BN的反应物、SiC晶须按一定比例球磨混合,得到混合均匀的粉体;
二、烧结处理:将步骤一得到的混合均匀的粉体进行升温烧结处理,使其充分反应后,得到混合熔盐的覆有BN涂层的SiC晶须;
三、抽滤处理:将步骤二得到的所述混合熔盐的覆有BN涂层的SiC晶须进行水洗,将表面附着的熔盐洗掉,得到了表面覆有BN涂层的SiC晶须;
四、烘干处理:将步骤三得到的表面覆有BN涂层的SiC晶须进行烘干后,得到表面具有BN涂层的SiC晶须;
所述步骤一中熔盐为氯化钠和氯化钾,生成BN的反应物为三聚氰胺和硼砂;
所述SiC晶须长度20-40μm、直径50-200nm;
三聚氰胺中氮元素与硼砂中硼元素的摩尔比为(1:1)~(4:1);
氯化钠与氯化钾的质量比为11:14;
生成BN的反应物与熔盐的质量比为(1:1)~(1:2);
反应物和熔盐的总质量与SiC晶须的质量比为(5:1)~(10:1);
所述步骤二中的升温烧结处理操作方法为:在氮气气氛下,按照3-5℃/min的升温速率,将混合均匀的粉体升温至900-1200℃,保温1-4小时,然后在氮气气氛下冷却至室温,所述升温烧结处理采用的设备为真空裂解炉。
2.如权利要求1所述的表面具有BN涂层的SiC晶须的熔盐法制备方法,其特征在于,
所述步骤三中的抽滤处理的操作方法为:将步骤二中得到的产物置于去离子水中混合均匀,然后使用抽滤装置过滤掉液体,重复4-5次。
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