[发明专利]一种晶圆盒内晶圆片旋转装置在审

申请号：	202211475975.0	申请日：	2022-11-23
公开（公告）号：	CN115799133A	公开（公告）日：	2023-03-14
发明（设计）人：	童建;李涛;郭亚飞	申请（专利权）人：	江苏亚电科技有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/673
代理公司：	北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317	代理人：	陈平
地址：	225500 江苏省泰***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种晶圆盒内晶圆片旋转装置
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【权利要求书】：

1.一种晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，包括：

支撑安装组件(1)，包括成Z形布置的依次连接的第一支撑安装板(11)、第二支撑安装板(12)和第三支撑安装板(13)，其中第一支撑安装板(11)水平布置，第三支撑安装板(13)上设置有晶圆容纳盒限位块；

旋转驱动组件(2)，分别设置在第一支撑安装板(11)、第二支撑安装板(12)和第三支撑安装板(13)上的第一旋转轴(21)、第二旋转轴(22)和第三旋转轴(23)，第一旋转轴(21)与第二旋转轴(22)之间、第二旋转轴(22)与第三旋转轴(23)之间通过传动件连接，所述第三旋转轴(23)表面设置有接触层(241)，接触层(241)用于与晶圆底部接触，在所述第三旋转轴(23)旋转时带动晶圆一同旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，包括：所述传动件为直角齿轮传动副。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，所述第三旋转轴(23)和第四旋转轴(24)均位于第三支撑安装板(13)的顶面。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，第四旋转轴(24)为平行的两根，两个所述第四旋转轴(24)上的第二直齿轮(27)与第一直齿轮(28)共同啮合以实现共同转动。

5.根据权利要求3或4所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，接触层(241)的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，所述第四旋转轴(24)上的接触层(241)的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，两个第四旋转轴(24)上的接触层(241)的外轮廓的长轴相互垂直，或者形成一定的夹角。

8.根据权利要求6所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，接触层(241)的材料为PTFE材料。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，第三支撑安装板(13)为水平布置或者倾斜布置。

10.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆片旋转装置，其特征在于，第四旋转轴(24)旋转时，能够沿其轴向摆动。

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