[发明专利]一种自动测试系统及自动测试方法

说明书

本发明提供一种自动测试系统及自动测试方法，自动测试系统包括测试装置和测试机台，所述测试装置和测试机台通信连接，所述测试机台用于向所述测试装置发送消息，以及接收并执行所述测试装置提供的测试指令，所述测试装置具有触发条件，所述测试装置用于在所述消息触发所述触发条件时根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台，具有实时监控测试机台上报的事件消息或者警报消息的功能，可以自动发送测试指令给测试机台，实现了高效、准确、安全的发送测试指令。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种自动测试系统及自动测试方法。

背景技术

在半导体制造过程中，目前所需要使用需要通过人工来观察测试机台上报的信息（例如事件（Event ID）消息或者警报（Alarm ID）消息），并根据测试机台发出的消息人工观察当前是否可以发送测试指令给测试机台，在手动发送已经配置好的测试指令给测试机台后，观察测试机台是否按照预期执行测试指令。

由于测试机台在跑货的过程中，通常会持续上报很多事件（Event ID）消息或者警报（Alarm ID）消息，而现有的测试工具没有提供监控测试机台需要测试指令的事件（EventID）消息和警报（Alarm ID）消息的功能，使得不能及时捕捉到可以发送测试指令的最佳时机。也就是说，人为观察测试机台发出的消息很容易错过发送测试指令的时机，且需要人为点击发送测试指令，无法准确且迅速地发送测试指令给测试机台，并且，在不当的时机发送测试指令给测试机台，不仅增加了因测试机台拒绝指令而测试失败的次数，还增加了测试时间成本，还会增加测试机台异常执行指令时出现的不可控风险。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种自动测试系统及自动测试方法，可以实时监控测试机台上报的事件消息或者警报消息，并在事件消息或者警报消息需要测试指令时可以自动发送测试指令给测试机台，从而高效、准确、安全地向测试机台发送测试指令。

为了解决上述问题，本发明提供一种自动测试系统，包括测试装置和测试机台，所述测试装置和测试机台通信连接，所述测试机台用于向所述测试装置发送消息，以及接收并执行所述测试装置提供的测试指令，所述测试装置具有触发条件，所述测试装置用于在所述消息触发所述触发条件时根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台。

可选的，所述消息包括需要监控的事件消息、需要监控的警报消息、不需要监控的事件消息和不需要监控的警报消息。

进一步的，一个所述测试装置与一个所述测试机台通信连接。

进一步的，所述测试装置包括相互连接的接收端、消息配置部和发送端，所述接收端和发送端均与所述测试机台通信连接，所述接收端用于接收所述测试机台发出的所述消息，所述消息配置部设置有触发条件，所述消息配置部用于在所述消息触发所述触发条件时配置相应的测试指令，所述发送端实时将所述测试指令发送给所述测试机台。

进一步的，所述触发条件包括需要监控的事件和需要监控的警报消息。

另一方面，本发明提供一种自动测试方法，采用所述的自动测试系统，包括以下步骤：

步骤S1：在测试装置中建立触发条件；

步骤S2：建立所述测试装置与若干个测试机台之间的通信连接，所有所述测试机台持续向所述测试装置发送消息；以及

步骤S3：在所述消息触发所述触发条件时，所述测试装置根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台，所述测试机台接收并执行所述测试指令。

可选的，步骤S2包括：

建立所述测试装置的接收端与所述测试机台之间的通信连接，以及所述测试装置的发送端与所述测试机台之间的通信连接；以及

所述测试机台开始跑货，在所述测试机台的跑货过程中持续向所述测试装置的接收端上报和跑货相关的事件消息或警报消息。