[发明专利]一种降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法及其制备得到的触控感应器在审
| 申请号: | 202211312702.4 | 申请日: | 2022-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN115627466A | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
| 发明(设计)人: | 鹿轩;赵亚永;陈润坤;郎聪;王钧;江建国 | 申请(专利权)人: | 浙江鑫柔科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40;C23C18/44;C23C18/54;G06F3/041 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 单香杰 |
| 地址: | 314501 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 降低 金属 网格 可视性 感应器 制备 方法 及其 得到 | ||
1.一种降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1.在透明基材上双面涂布光刻胶打底层,经过曝光照射、显影形成图案驱动层;
S2.在图案驱动层上,化学镀一层用于黑化的钯金属,形成第一黑化层,厚度50-100nm;
S3.在步骤S2中的第一黑化层上化学镀上一层铜金属,形成金属网格,厚度为400-1000nm;
S4.在金属网格上,通过化学反应将S3中金属网格的金属表面置换为用于黑化的钯金属,形成第二黑化层,厚度为50-100nm。
2.根据权利要求1所述触控感应器的制备方法,其特征在于,所述第一黑化层和第二黑化层的厚度相同。
3.根据权利要求1所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,步骤S2中所述化学镀使用的溶液组成和反应条件如下:
溶液组成:1-3g/L可溶性钯盐、4-6g/L次亚磷酸盐、14-18g/L络合剂、150-200ml/L弱碱、0.5-1.0g/L分散剂;反应条件:pH值6-8,温度55-60℃。
4.根据权利要求1所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中所述化学镀使用的溶液组成和反应条件如下:
溶液组成:5-10g/L可溶性铜盐,15-20g/L螯合剂,6-10g/L甲醛,0.03-0.06g/L稳定剂,6-9g/L强碱;反应条件:温度38-40℃。
5.根据权利要求1所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,步骤S4中所述表面置换,通过置换镀钯实现,所使用的溶液组成和反应条件如下:
溶液组成:0.5-2g/L可溶性钯盐,14-22g/L络合剂,8-12ml/L可溶性有机酸,0.1-0.5g/L表面活性剂;反应条件:pH值5-6,温度49-51℃。
6.根据权利要求1所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中光刻胶打底层还含有催化剂或在光刻胶打底层表面涂布催化剂。
7.根据权利要求6所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,所述催化剂为钯催化剂。
8.根据权利要求1-7任一所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中第二黑化层形成后还需进行水洗和烘干。
9.根据权利要求1-7任一所述降低金属网格可视性的触控感应器的制备方法,其特征在于,所述透明基材为:聚对苯二甲酸乙二酯、透明聚酰亚胺、环烯烃聚合物、超级延迟膜、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、三醋酸纤维薄膜、玻璃中的至少一种。
10.一种触控感应器,其特征在于,包括透明基材(1)、图案驱动层(5)、第一黑化层(3)、金属网格(2)和第二黑化层(4);所述透明基材(1)上下表面均设有图案驱动层(5),图案驱动层(5)另一面上依次设有第一黑化层(3)、金属网格(2)和第二黑化层(4),所述第一黑化层(3)的厚度为50-100nm,所述金属网格(2)厚度为400-1000nm,所述第二黑化层(4)厚度为50-100nm。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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