[发明专利]一种实现倾斜电镀的电镀槽体在审

专利信息
申请号: 202211084488.1 申请日: 2022-09-06
公开(公告)号: CN115418700A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 王落军;张三洋;温旭军;陶俊 申请(专利权)人: 无锡琨圣智能装备股份有限公司
主分类号: C25D17/02 分类号: C25D17/02;C25D17/00;C25D17/06
代理公司: 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 代理人: 吴忠义
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 实现 倾斜 电镀
【说明书】:

发明提供了一种实现倾斜电镀的电镀槽体,包括槽体,槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有夹具输送单元,每个夹具输送单元包括底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致,侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方;槽体上方设置有夹具推动装置,夹具推动装置与设备阴极接通,槽体内设置有阳极板。本发明提供的实现倾斜电镀的电镀槽体,利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体,实现双面电镀,提高电镀效率,阴极与电镀液接触少,反镀情况明显改善,输送过程中夹具处于倾斜状态,夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置,降低硅片对于夹具夹紧力的需求,降低碎片率。

技术领域

本发明涉及一种电镀槽体,尤其涉及一种实现倾斜电镀的电镀槽体。

背景技术

针对太阳能电池的制备方法,传统的丝网印刷银浆方式已经被电镀镍铜等金属电极的方式所取代,从而大大降低了电极的制造成本。

目前电镀设备主要有两种,一种是链式电镀设备,一种是槽式挂镀设备。链式电镀设备的原理是硅片在阴极滚轮上通过,下表面接触阳极电镀液完成电镀,这种方式的缺陷在于只能实现单面电镀,效率较低,且金属容易反镀到阴极滚轮上,对电镀的质量也有影响。槽式挂镀设备的原理是将装有硅片的夹具放到阳极电镀液内,夹具与阴极接通完成电镀,这种方式的缺陷在于现有的夹具均未硬着力,为了防止硅片脱离夹具,夹具的夹紧力会比较大,容易损伤硅片,碎片率较高。

发明内容

本发明的目的是克服现有的缺陷,提供一种实现倾斜电镀的电镀槽体,解决目前电镀过程中存在效率低、电镀质量差、碎片率高的问题。

为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:

一种实现倾斜电镀的电镀槽体,包括槽体,所述槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有若干夹具输送单元,每个所述夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致,所述侧面移动支撑组件位于所述底部移动支撑组件的斜上方;所述槽体上方设置有夹具推动装置,所述夹具推动装置与设备阴极接通,所述槽体内设置有阳极板。

进一步地,每个所述夹具输送单元的输送终点前方对应的所述槽体的槽壁上开设有槽壁缺口。

进一步地,所述底部移动支撑组件为第一滚轮组或滑动轨道槽。

进一步地,所述侧面移动支撑组件为第二滚轮组或滑动挡杆。

进一步地,所述夹具推动装置包括两个支撑架,两个所述支撑架分别设置在所述槽体外在其夹具移动方向的两侧,每个所述支撑架朝向所述槽体的一侧设置有同步输送装置,两个所述同步输送装置上共同架设有一个阴极主杆,所述阴极主杆的下端连接有若干阴极推杆,每个所述阴极推杆向下延伸至所述槽体内且与一个所述夹具输送单元对应。

进一步地,所述同步输送装置为同步带,所述阴极主杆的两端分别固定在对应侧的同步带上。

进一步地,所述阳极板设置有若干个且两两一组,每组所述阳极板设置在所述夹具输送单元输送方向的两侧,每个所述阳极板的端部通过接线与设备阳极接通。

进一步地,每个所述夹具输送单元输送方向的两侧设置有循环喷管,所述循环喷管与设备循环泵连接。

进一步地,相邻所述夹具输送单元之间设置有中间隔板。

本发明一种实现倾斜电镀的电镀槽体,利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体,实现双面电镀,提高电镀效率,阴极与电镀液接触少,反镀情况得到明显改善,输送过程中夹具处于倾斜状态,夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置,从而降低硅片对于夹具夹紧力的需求,降低碎片率。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡琨圣智能装备股份有限公司,未经无锡琨圣智能装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211084488.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top