[发明专利]一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法

说明书

本发明涉及一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法，装置包括支撑壳体，所述支撑壳体内固定设置有激光器，且激光器的下侧设有光路系统，所述光路系统的下端抵触设置有透光模压板，所述透光模压板设置在安装孔内，且安装孔开设在上基座上，所述上基座固定连接在支撑壳体内，且上基座上设置有固定机构，用于将透光模压板可拆装设置在安装孔内；透光模压板相对上基座可拆装设置，这样在实际的工作过程中，在上基座和透光模压板单一发生损坏时，只需要更换损坏件即可，从而达到节能环保的作用；可拆装设置可以更换不同尺寸的透光模压板，从而使得该设备适用于适用于多规格材料表面阵列微纳结构的加工，这样可以大大降低生产投入。

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，具体涉及一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法。

背景技术

材料表面的微纳结构可使材料在发挥固有性能的同时，具有常规表面不具备的特性，如疏水性、减摩性、抗菌性等，已广泛应用于功能零部件的制造。微纳结构对材料表面性能的影响很大，可通过化学刻蚀、气相沉积、激光加工等方法制备。陶瓷因其良好的力学及物化性能，是微纳结构加工的重要研究领域。作为典型的硬脆材料，具有非接触、无工具磨损、高效率且易在线控制工艺参数的激光加工方法优势明显，对于具有高重复性的阵列微纳结构加工，更是其它方法难以比拟的。专利CN201210491845.6公开了一种基于激光加热的塑料件微结构成形方法和装置，通过激光的热效应作用精确控制工艺参数以使材料基体表面快速熔化，再经挤压成型装置获得微结构的成型加工。但是由于透光模压板固定在上基座上，不具有可拆装性能，这样在实际的使用过程中，在发生损坏时，需要将上基座和透光模压板同时丢弃，不利于节能降耗的作用，同时，同一设备也无法实现多规格材料表面的加工。为了解决上述问题，本发明中提出了一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法。

发明内容

(1)要解决的技术问题

本发明的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法，以解决上述技术问题。

(2)技术方案

为了实现本发明的目的，本发明所采用的技术方案为：

一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置，包括支撑壳体，所述支撑壳体内固定设置有激光器，且激光器的下侧设有光路系统，所述光路系统的下端抵触设置有透光模压板，所述透光模压板设置在安装孔内，且安装孔开设在上基座上，所述上基座固定连接在支撑壳体内，且上基座上设置有固定机构，用于将透光模压板可拆装设置在安装孔内。

进一步地，所述固定机构包括一号螺钉和一号螺纹孔，所述一号螺钉螺纹插接在一号螺纹孔内，且一号螺纹孔开设在上基座上，所述一号螺钉的侧壁上固定连接有旋转板，且旋转板活动设置在上基座上开设的二号支撑槽内；所述一号螺钉上开设有二号螺纹孔，且二号螺纹孔内螺纹插接有二号螺钉，所述一号螺钉、二号螺钉和旋转板内设置有固定件。

进一步地，所述固定件包括第一支撑环，所述第一支撑环的内环壁上开设有三号螺纹孔，且第一支撑环通过三号螺纹孔螺纹套设在二号螺钉外，所述第一支撑环活动设置在一号螺钉上开设的一号支撑槽内，且第一支撑环的上端面上固定连接有导向组件的一端，所述导向组件的另一端固定连接在一号支撑槽的顶壁上，所述第一支撑环的侧壁固定连接有承托板，且承托板活动设置在旋转板上开设的三号支撑槽内，所述承托板的上端面上固定连接有抵触柱，且抵触柱活动插接在旋转板上。

进一步地，所述导向组件包括导向杆、导向筒和导向弹簧，所述导向杆活动插接在导向筒内，所述导向弹簧缠绕连接在导向杆外，且导向弹簧的两端分别固定连接在导向杆的侧壁上和导向筒的外侧壁上。

进一步地，所述安装孔呈喇叭状结构，且安装孔的侧壁开设有定位槽，所述定位槽内滑动设置有定位块，且定位块固定连接在透光模压板的侧壁上。