[发明专利]固体靶装置

权利要求书

1.一种固体靶装置，其特征在于，包括：

准直器(1)，所述准直器(1)具有准直通道(11)，所述准直通道(11)具有入口端(12)和出口端(13)，从所述入口端(12)向所述出口端(13)的方向上，至少一部分所述准直通道(11)的截面积减小；

真空膜(2)，所述真空膜(2)位于所述出口端(13)，且所述真空膜(2)至少用于对所述准直通道(11)内的真空区域进行密封；

靶体定位结构，所述靶体定位结构位于所述真空膜(2)的背离所述出口端(13)的一侧，且所述靶体定位结构用于对靶体（39）进行定位导向；

夹紧结构，所述夹紧结构位于所述靶体定位结构的背离所述准直器(1)的一侧，所述夹紧结构适于靠近或远离所述靶体定位结构，所述夹紧结构通过挤压所述靶体定位结构夹紧所述靶体（39）。

2.根据权利要求1所述的固体靶装置，其特征在于，还包括第一冷却法兰(5)，所述第一冷却法兰(5)具有第一冷却通道(51)，所述第一冷却通道(51)与所述准直通道(11)正对，所述真空膜(2)包括第一膜体(21)和第二膜体(22)，所述第一膜体(21)封盖所述第一冷却通道(51)的一端，所述第二膜体(22)封盖所述第一冷却通道(51)的另一端，所述第一冷却通道(51)还具有第一介质接口(52)。

3.根据权利要求1所述的固体靶装置，其特征在于，所述夹紧结构包括夹紧壳体(41)，所述夹紧壳体(41)内设有第二冷却腔(42)，所述第二冷却腔(42)具有第二冷却介质接口(43)。

4.根据权利要求3所述的固体靶装置，其特征在于，还包括夹紧驱动装置(44)，所述夹紧驱动装置(44)具有夹紧推杆(45)，所述夹紧推杆(45)可伸缩以靠近或远离所述靶体定位结构，所述夹紧壳体(41)与所述夹紧推杆(45)固定相连。

5.根据权利要求4所述的固体靶装置，其特征在于，所述靶体定位结构包括导向板(31)和承载板(32)，所述导向板(31)具有导向槽(33)，所述承载板(32)适于靠近或远离所述导向板(31)。

6.根据权利要求5所述的固体靶装置，其特征在于，所述夹紧推杆(45)穿过所述导向板(31)，且所述导向板(31)的朝向所述准直器(1)的一侧设有复位弹簧(34)，在所述导向板(31)挤压所述复位弹簧(34)时，所述复位弹簧(34)适于对所述导向板(31)施加使所述导向板(31)远离所述准直器(1)的复位力。

7.根据权利要求5所述的固体靶装置，其特征在于，还包括承载板驱动机构，所述承载板驱动机构具有承载推杆(36)，所述承载推杆(36)可伸缩以靠近或远离所述导向板(31)，所述承载板(32)与所述承载推杆(36)固定相连。

8.根据权利要求5所述的固体靶装置，其特征在于，还包括靶体驱动机构，所述靶体驱动机构位于所述导向板(31)的上方且具有靶体推杆(38)，所述靶体推杆(38)可伸缩以靠近或远离所述导向板(31)。

9.根据权利要求2所述的固体靶装置，其特征在于，还包括准直法兰(14)，所述准直法兰(14)具有加速器连接端(15)，所述准直器(1)安装于所述准直法兰(14)，且所述准直器(1)与所述准直法兰(14)之间设有绝缘垫片(16)，所述第一冷却法兰(5)与所述准直法兰(14)固定相连。

10.根据权利要求2所述的固体靶装置，其特征在于，所述夹紧结构的朝向所述靶体定位结构的一端设有夹紧密封圈(46)，所述第一冷却法兰(5)的背离所述准直器(1)的一侧与靶体法兰(61)相连，所述靶体法兰(61)具有与所述准直通道(11)正对的法兰通道，所述靶体法兰(61)的朝向所述靶体定位结构的一端设有靶体密封圈(62)。

11.根据权利要求1所述的固体靶装置，其特征在于，所述准直器(1)包括多片准直体(17)，所述多片准直体(17)沿所述准直通道(11)的周向均匀布置。