[发明专利]曲面波导及其制作方法、眼球追踪装置、VR/AR设备

权利要求书

1.一种曲面波导制作方法，其特征在于，包括步骤：

制备曲面波导基板；

在所述曲面波导基板上制备凹陷结构；

制备用于反射光线的耦出玻片；

将所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中；以及

填充所述耦出玻片和所述凹陷结构内壁之间的空隙。

2.根据权利要求1所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述在所述曲面波导基板上制备凹陷结构包括：

在所述曲面波导基板上制备多个阵列排布的凹陷结构；

所述制备用于反射光线的耦出玻片包括：

制备多个所述耦出玻片；

所述将所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中包括：

将多个所述耦出玻片一一对应地连接在多个所述凹陷结构中。

3.根据权利要求1所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述在所述曲面波导基板上制备凹陷结构包括：

在所述凹陷结构中制备至少一个定位面；

其中，所述将所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中包括：

将所述耦出玻片抵接在所述定位面上。

4.根据权利要求1所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述制备用于反射光线的耦出玻片包括：

在玻璃基板的相对两个表面上分别镀反射膜；以及

将镀膜后的所述玻璃基板沿厚度方向切割，得到所述耦出玻片。

5.根据权利要求4所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述将镀膜后的所述玻璃基板沿厚度方向切割，得到所述耦出玻片包括：

均匀切割所述玻璃基板，形成多个形状大小相同的所述耦出玻片。

6.根据权利要求1所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述填充所述耦出玻片和所述凹陷结构内壁之间的空隙包括：

向所述凹陷结构内注入胶水；以及

固化所述凹陷结构中的胶水；

其中，所述曲面波导基板的折射率、所述耦出玻片的折射率以及所述胶水的折射率，三个折射率之间的两两差值小于0.1；所述曲面波导基板的阿贝数、所述耦出玻片的阿贝数以及所述胶水的阿贝数，三个阿贝数之间的两两差值小于30。

7.根据权利要求1所述的曲面波导制作方法，其特征在于，在所述填充所述耦出玻片和所述凹陷结构内壁之间的空隙之后，所述制作方法还包括：

打磨抛光所述曲面波导基板的表面。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述在所述曲面波导基板上制备凹陷结构包括：

在所述曲面波导基板上制备凹槽；

其中，所述将所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中包括：

将所述耦出玻片插入所述凹槽中。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的曲面波导制作方法，其特征在于，所述在所述曲面波导基板上制备凹陷结构包括：

在所述曲面波导基板上制备贯穿所述曲面波导基板厚度方向的开孔；

其中，所述将所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中包括：

将所述耦出玻片插入所述开孔中。

10.一种曲面波导，其特征在于，包括：

曲面波导基板，所述曲面波导基板上具有凹陷结构；

用于反射光线的耦出玻片，所述耦出玻片连接在所述凹陷结构中；以及

填充物，所述填充物填充在所述耦出玻片和所述凹陷结构内壁之间的空隙中。

11.一种眼球追踪装置，其特征在于，包括：

探测光源，用于出射探测光；以及

如权利要求10所述的曲面波导，所述探测光耦入所述曲面波导基板中全反射传播、或者所述探测光源的照射方向朝向所述耦出玻片，所述耦出玻片的反射方向朝向人眼。

12.一种VR设备，其特征在于，包括：

如权利要求10所述的曲面波导。

13.一种AR设备，其特征在于，包括：

如权利要求10所述的曲面波导。