[发明专利]一种非对称驱动旋转等离子刻蚀设备

权利要求书

1.一种非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，包括壳体，所述壳体上部设有电离室，电离室内设有第一电极，气体通过电离室后进入反应室，反应室下部设有工作台，其特征在于，所述工作台设置在旋转组件上，所述工作台设有第二电极，所述旋转组件驱动工作台在反应室内非对称旋转。

2.根据权利要求1所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述旋转组件包括外壳，所述外壳包括顶部和侧部，所述侧部设有第一齿部，所述第一齿部整体呈圆形，所述外壳内设有中心齿轮和旋转齿轮，所述旋转齿轮位于中心齿轮和所述侧部之间，旋转齿轮分别与中心齿轮和第一齿部啮合，外壳转动时，旋转齿轮沿着中心齿轮的中轴线及旋转齿轮的中轴线转动，所述旋转齿轮设有杆部，所述杆部穿过外壳向上延伸，所述工作台与杆部固定连接。

3.根据权利要求2所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述中心齿轮与壳体固定连接，中心齿轮中部设有轴承，外壳设有延伸部，延伸部的一端设置在轴承内。

4.根据权利要求3所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述延伸部设有第二齿部，电机通过驱动齿轮带动第二齿部转动。

5.根据权利要求2所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述旋转齿轮为多个，并均匀分布在中心齿轮和侧部之间。

6.根据权利要求5所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述多个旋转齿轮轴心通过连杆连接。

7.根据权利要求1所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述第二电极通过导电滑环与高频电源电连接。

8.根据权利要求1所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述电离室为多个。

9.根据权利要求1所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述第一电极呈螺旋线形。

10.根据权利要求1所述的非对称驱动旋转等离子刻蚀设备，其特征在于，所述电离室为一个，设置在壳体中间位置，中心齿轮对应电离室设置，中心齿轮外周设有旋转齿轮，中心齿轮与电机连接，通过电机驱动中心齿轮转动，中心齿轮转动带动旋转齿轮转动，旋转齿轮中心通过轴与工作台固定连接，旋转齿轮转动时带动工作台转动。