[发明专利]一种晶圆UV解胶机

权利要求书

1.一种晶圆UV解胶机，其特征在于，包括：

机箱（1），所述机箱（1）的顶部开口；

紫外灯（6），所述紫外灯（6）设置于机箱（1）内；

置物机构（3），所述置物机构（3）活动贯穿机箱（1）的侧壁，所述置物机构（3）与机箱（1）的内壁滑动连接且滑动进出机箱（1），所述置物机构（3）位于紫外灯（6）的上方且用于盛装晶圆；

机盖（2），所述机盖（2）设置于机箱（1）的顶部，所述机盖（2）的一端与机箱（1）铰接；

格挡机构（4），所述格挡机构（4）沿置物机构（3）的滑动方向设置于置物机构（3）的顶部，所述格挡机构（4）包括依次连接的若干格挡块（41）；

弹性限位机构（5），所述弹性限位机构（5）设置于机盖（2）上，所述弹性限位机构（5）与格挡机构（4）相配合，所述弹性限位机构（5）不阻碍格挡块（41）朝向靠近机箱（1）的一侧移动，所述弹性限位机构（5）阻碍格挡块（41）朝向远离机箱（1）的一侧移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述格挡块（41）的顶部呈倾斜的坡度，所述格挡块（41）靠近机箱（1）的一端的高度低于远离机箱（1）的一端的高度。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述弹性限位机构（5）包括设置于机盖（2）上的固定座（51）、可拆卸设置于固定座（51）上的轴组件（52）、转动套设于轴组件（52）上的限位组件（53）、设置于限位组件（53）和固定座（51）之间的弹簧（54）。

4.根据权利要求3所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述固定座（51）包括固定块（511），所述固定块（511）上开设对限位组件（53）进行限位的限位槽（513），所述轴组件（52）贯穿固定块（511）和限位槽（513）且与固定块（511）可拆卸连接，所述限位组件（53）转动套设于轴组件（52）上且在限位槽（513）内转动。

5.根据权利要求4所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述固定块（511）上开设与限位槽（513）连通的轴孔（514），所述固定块（511）上开设与限位槽（513）连通的安装孔（515），所述轴孔（514）的中轴线的延长线与安装孔（515）的中轴线的延长线重合，所述轴孔（514）和安装孔（515）分别位于限位槽（513）的两侧，所述限位组件（53）包括设置于轴孔（514）内的定位轴（521）和设置于安装孔（515）内的安装螺栓（522），所述定位轴（521）靠近安装螺栓（522）的一端开设与安装螺栓（522）相配合的螺孔，所述限位组件（53）转动套设于定位轴（521）上。

6.根据权利要求5所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述限位组件（53）包括转动套设于定位轴（521）上的限位板（531），所述固定块（511）上开设第一容置槽（512），所述限位板（531）上开设与第一容置槽（512）相对应的第二容置槽（532），所述弹簧（54）设置于第一容置槽（512）和第二容置槽（532）内，所述弹簧（54）的两端分别与固定块（511）和限位板（531）连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述置物机构（3）包括与机箱（1）的内壁滑动连接的置物板（31）、设置于置物板（31）远离机箱（1）的一端的端板（32）、设置于端板（32）上的拉手（33），所述置物板（31）上贯穿开设用于盛装晶圆的盛装槽。

8.根据权利要求7所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述置物板（31）上贯穿开设与盛装槽连通的开孔（34）。

9.根据权利要求1所述的晶圆UV解胶机，其特征在于，所述机盖（2）与机箱（1）通过合页铰接，所述机箱（1）的材质为铁，所述机盖（2）靠近机箱（1）的侧壁上远离合页的一端设有用于吸附机箱（1）顶部的吸铁石。