[发明专利]一种全自动的半导体晶圆制造执行系统

权利要求书

1.一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：包括，非生产批次NPW模块、批次性生产模块和设备模块；

其中，非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式；非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令，并且在接收到非生产批次的待机指令时，发出相应的非生产批次的待机指令；设备模块进入相应的非生产批次的待机状态；此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令；

非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令，并且在接收到非生产批次的派工指令时，向设备模块发出相应的执行指令；

批次性生产模块接收批次性生产指令，并在接收批次性生产指令时，向设备模块发出批次性生产的执行指令；

设备模块在接收到相应的非生产批次的执行指令后，设备模块进入相应的非生产批次的生产模式状态；当设备模块接收到批次的派工生产指令后，进入相应的批次性的生产模式状态。

2.如权利要求1所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：其中，非生产批次性模式包括：暖机Season模式；

暖机Season模式为：

当非生产批次NPW模块接收暖机Season待机指令时，发出暖机Season的待机指令；设备模块进入暖机Season待机状态；

在暖机Season待机状态下，当非生产批次NPW模块接收暖机Season的派工指令时，向设备模块发出暖机Season的执行指令；

设备模块在接收到暖机Season的执行指令后，设备模块进入相应的执行状态；当设备模块相应非生产批次的派工生产后，设备模块进入批次性生产模式状态。

3.如权利要求1所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：其中，非生产批次性模式包括：监测Monitor模式；

监测Monitor模式为：

当非生产批次NPW模块接收监测Monitor待机指令时，发出监测Monitor的待机指令；设备模块进入监测Monitor待机状态；

在监测Monitor待机状态下，当非生产批次NPW模块接收监测Monitor的派工指令时，向设备模块发出监测Monitor的执行指令；

设备模块在接收到监测Monitor的执行指令后，设备模块进入相应的执行状态；当设备模块测量后将数据提交测量判断模块进行判断，测量结果是否符合设定阈值；若测量判断模块判断符合设定阈值，则设备模块完成监测Monitor派工生产，设备模块进入批次性生产模式状态。

4.如权利要求3所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：其中，若测量判断模块判断不符合设定阈值，设备模块进入等待状态；待等待状态解除后，设备模块再进入相应的状态。

5.如权利要求1所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：还包括计时模块和OEE模块；

计时模块分别对非生产批次NPW控制模块、批次性生产控制模块、设备模块的各个状态进行计时；获得操作时间和计划工作时间；

OEE模块根据获得计时模块获得的时间，计算可用率。

6.如权利要求5所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：计时模块获得操作时间和计划工作时间。

7.如权利要求6所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：可用率＝操作时间/计划工作时间。

8.如权利要求7所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：OEE模块还计算设备效率。

9.如权利要求8所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：设备效率OEE＝可用率*表现性*质量指数。