[发明专利]显示面板和显示面板的制作方法在审

专利信息
申请号: 202210514974.6 申请日: 2022-05-11
公开(公告)号: CN114883372A 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 谢超雄 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L23/544
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 黄舒悦
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 制作方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,所述显示面板包括显示区和围绕所述显示区设置的非显示区,其特征在于,所述显示面板包括:

基板;

多个标记结构,所述多个标记结构设置在所述非显示区,所述标记结构包括遮光层和氧化铟镓锌层,所述遮光层设置在所述基板上,所述遮光层设置有镂空结构;所述氧化铟镓锌层具有导电性,所述氧化铟镓锌层包括连接的第一部分和第二部分,所述第一部分设置在所述遮光层远离所述基板的一侧,所述第二部分对应所述镂空结构设置,且所述第二部分至少部分设置在所述镂空结构内,所述第二部分远离所述基板的表面低于所述第一部分远离所述基板的表面。

2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一部分的厚度小于所述遮光层的厚度。

3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第二部分的厚度小于或等于所述第一部分的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板包括源漏极和阳极,所述源漏极设置在所述氧化铟镓锌层远离所述基板的一侧,所述阳极设置在所述源漏极远离所述基板的一侧。

5.根据权利要求1-3任一项所述的显示面板,其特征在于,所述镂空结构的形状为L形。

6.根据权利要求1-3任一项所述的显示面板,其特征在于,所述镂空结构设置在所述遮光层的中心位置。

7.根据权利要求1-3任一项所述的显示面板,其特征在于,所述氧化铟镓锌层的第一部分的厚度小于50nm,所述遮光层的厚度大于50nm。

8.一种显示面板的制作方法,用于制作显示面板,所述显示面板包括显示区和围绕所述显示区设置的非显示区,其特征在于,所述制作方法包括:

提供一基板;

在位于所述非显示区的所述基板上设置遮光层,所述遮光层上设置有镂空区域;

在所述遮光层远离所述基板的一侧设置氧化铟镓锌材料,部分所述氧化铟镓锌材料凹陷于所述镂空区域内,以使所述氧化铟镓锌材料对应所述镂空区域形成凹槽;

固化所述氧化铟镓锌材料形成氧化铟镓锌层;

对所述氧化铟镓锌层进行等离子体处理,以使所述氧化铟镓锌层导体化。

9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述制作方法还包括:

在所述氧化铟镓锌层远离所述基板的一侧设置源漏极;

在所述源漏极远离所述基板的一侧设置阳极。

10.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述氧化铟镓锌层的厚度小于所述遮光层的厚度。

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