[发明专利]一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法

权利要求书

1.一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法，包括以下步骤：

步骤 1：采用无水乙醇将双温区管式炉擦拭干净，并在600℃高温条件下对管式炉进行退火处理，退火期间用300 sccm高纯氩气进行冲洗；

步骤2：选用1cm×1cm的SiO₂/Si衬底依次在丙酮、去离子水和无水乙醇溶液中浸泡并超声清洗，之后冲洗风干备用；

步骤 3：将硫粉末和氧化钼粉末分别放置于双温区管式炉的第一温区中心和第二温区中心；将清洗干净的衬底放置于盛有氧化钼粉末的石英舟之后，打开真空泵将双温区管式炉内压力抽至10pa以下，抽气完成后在管式炉内通入300sccm的氩气进行清洗，重复2-3次；

步骤4：冲洗结束后设置载气流速，使管式炉两个温区在稳定的载气流速下分别升至目标生长温度，保温生长获得单层的二硫化钼样品，待反应结束后等管式炉自然冷却到室温，取出二硫化钼样品备用；

步骤5：将硫粉末和硫化锡粉末分别放置于双温区管式炉的第一温区中心和第二温区中心；将生长有二硫化钼的衬底放置于盛有硫化锡粉末的石英舟之后，打开真空泵将双温区管式炉内压力抽至10pa以下，抽气完成后在管式炉内通入300sccm的氩气进行清洗，重复2-3次；

步骤6：冲洗结束后设置载气流速，在稳定的载气流速下使管式炉第二温区匀速升至目标生长温度，保温生长硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结，待反应结束后，管式炉自然冷却到室温；

其特征在于，所述步骤3中，硫粉末与氧化钼粉末质量比为2.6：1，衬底放置于盛有氧化钼粉末的石英舟之后2cm；所述步骤4中，载气流速为60sccm，第一温区目标温度为200℃，第二温区目标温度680℃~700℃；所述步骤5中，硫粉末与硫化锡粉末质量比为3：1，生长有二硫化钼的衬底放置于盛有硫化锡粉末的石英舟之后6cm；所述步骤6中，载气流速为60sccm，第一温区不工作，第二温区目标温度680℃~720℃。

2.根据权利要求1所述的一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法，其特征在于，所述步骤4中，第二温区目标温度最优为700℃；所述步骤6中，第二温区目标温度最优为700℃。

3.根据权利要求1所述的一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法，其特征在于，所述步骤4中，第一温区的升温时间为40min，保温时间为15min，第二温区的升温时间为40min，保温时间为15min；步骤6中，第二温区升温时间为60min，保温时间为30min。