[发明专利]液态源鼓泡器

说明书

本发明涉及半导体外延设备领域内的一种液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及气泡分布器；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，气泡分布器位于进气管的出气口上方，液体加注管的一端自筒体的顶板进入筒体内，出气管的一端与筒体的顶板上的通孔密封连接；液体经液体加注管加入筒体内，气体通过出气口进入筒体内并形成气泡，上移的气泡穿过气泡分布器后气泡沿筒体的径向方向扩散且粘连的气泡被分离，经扩散与分离的气泡上移并通过出气管通入外部反应装置。本发明通过气泡分布器即提高了气泡的独立性，又提高了气泡的分布面积，从而提高了气泡将液体带离的效率。

技术领域

本发明涉及半导体外延设备领域，具体地，涉及一种液态源鼓泡器。

背景技术

鼓泡法一般是将精确计量的工艺气体或者惰性气体作为载气通入液态源内，形成含有液态源蒸汽的气泡，输出至工艺机台的方法。因液态源的输出量受载气的流量及携带效率影响，因此，载气气体流量与液态源的携带量二者之间的线性度，即携带效率决定了产品的品质高低。

现有技术中存在鼓泡器，例如公开号为CN205329209U的中国专利，公开了一种鼓泡器，包括一管本体，用于存放液体反应物；第一进气管插入所述管本体中，用于将气体通入所述管本体的液体反应物中，以进行起泡，形成含有反应物的饱和气体；废液管与所述管本体连接；还包括一第二进气管，一端与所述第一进气管的进气端连通，另一端与所述废液管连通，用于在第一进气管堵塞的情况下将气体由所述废液管通入所述管本体中；第一阀门设置在废液管上，位于管本体与第二进气管连接点之间，用于控制废液管的开闭；流量监控器与所述第一进气管连接，用于监控第一进气管的气体流量；阀门控制器与所述流量监控器以及第一阀门连接，用于在流量监控器监控的第一进气管的气体流量小于预设值的情况下，控制第一阀门开启。这种鼓泡器能够将氢气通入管本体后起泡，起泡后的三氯氢硅溶液通过排气管排出用于外延生长。但存在的不足是气泡效率、携带效率不佳。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种液态源鼓泡器。

根据本发明提供的一种液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及气泡分布器；

所述筒体为密封的柱型筒体，所述进气管的一端自所述筒体的顶板进入并延伸至靠近所述筒体的底板处，位于所述筒体内的所述进气管的端口记为出气口，所述出气管的一端与所述筒体的顶板上的通孔密封连接，所述液体加注管的一端自所述筒体的顶板进入所述筒体内，所述气泡分布器包括中心盘和条板，沿所述中心盘的圆周方向均布有多个所述条板形成圆盘状，相邻两条所述条板之间设有狭缝，所述气泡分布器位于所述出气口上方，所述气泡分布器设有用于容置并供所述进气管与所述液体加注管进出的缺口；

液体经所述液体加注管加入所述筒体内至预定高度，所述出气口与所述气泡分布器位于液面之下，气体通过所述出气口进入所述筒体内并形成气泡，上移的气泡通过所述狭缝后沿所述筒体的径向方向扩散，扩散的气泡继续上移并通过所述出气管通入外部反应装置。

一些实施方式中，所述狭缝的宽度为气泡平均直径的1.2-1.8倍。

一些实施方式中，所述狭缝的宽度自所述中心盘至所述条板的自由端处逐渐变大。

一些实施方式中，所述中心盘和\或所述条板上密布气孔，所述气孔的孔径为气泡平均直径的1.2-1.8倍。

一些实施方式中，所述中心盘与所述条板上均设有所述气孔，所述气孔的密度自所述中心盘的中心至所述条板的自由端处变小。

一些实施方式中，所述气泡分布器的边缘与所述筒体的筒臂内表面之间设有间隙，所述间隙能够使多个气泡同时通过。

一些实施方式中，还包括气体分布器，所述气体分布器安装于所述出气口上并连通，所述气体分布器是由金属粉末烧结而成的微孔结构体。