[发明专利]纳米防水薄膜制备方法和制备系统在审
| 申请号: | 202210177788.8 | 申请日: | 2022-02-24 |
| 公开(公告)号: | CN114535029A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
| 发明(设计)人: | 谭健;杨福年;方石胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市技高美纳米科技有限公司 |
| 主分类号: | B05D5/00 | 分类号: | B05D5/00;B05D7/24;B05D7/00;B05D1/36;B05D1/00 |
| 代理公司: | 广东普润知识产权代理有限公司 44804 | 代理人: | 寇闯 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 纳米 防水 薄膜 制备 方法 系统 | ||
本发明适用于薄膜的制备技术领域,提供了一种纳米防水薄膜及其制备方法和制备系统。该纳米防水薄膜的制备方法包括防水层的制备和疏水层的制备,其中,防水层沉积在基体表面,疏水层沉积在防水层上方。本发明使用多组分多层工艺,使多种组分自然交联形成防水层,在防水层上重复叠加疏水层形成纳米防水薄膜,实现了由多层组成且每层厚度在10~30nm之间的纳米防水薄膜在基体上的制备,纳米防水薄膜能防水的同时具有更好的疏水效果,能降低基体被腐蚀速度;纳米防水薄膜通过多种组份复合,达到所需的防水,疏水,抗盐雾,耐酸碱汗液等性能,使得纳米防水薄膜制备工艺简单化、实用化。
技术领域
本发明属于薄膜的制备技术领域,涉及纳米防水薄膜的制备方法和制备系统,以及通过该制备方法制备的纳米防水薄膜。
背景技术
等离子气相沉积法广泛应用于基体表面镀膜。现有的等离子气相沉积方法仅适用于在基体表面单一组分的纳米薄膜的制备,无法制备多组分纳米薄膜。纳米薄膜组分的单一性使纳米薄膜防水性能差。
因此,亟需一种纳米防水薄膜及其制备方法和制备系统,使制备的纳米防水薄膜具备多药物组分进而获得良好的防水性能。
发明内容
本发明实施例的目的在于提供一种纳米防水薄膜的制备方法,旨在解决纳米薄膜组分单一、防水性差的问题。
该纳米防水薄膜的制备方法包括如下步骤:
S1:向多个第一药物容器通入载气,所述载气和所述第一药物容器中的药物从所述第一药物容器中输出,形成混合流体,选择一部分所述混合流体形成第一支路流体,其余部分的所述混合流体形成第二支路流体。
S2:将所述第一支路流体输送至第二药物容器并转化成第一药蒸汽,所述第一药蒸汽被吸入真空仓体,沉积于设置在所述真空仓体的基体表面形成防水层。
S3:将所述第二支路流体输送至所述第二药物容器并转化成第二药蒸汽,所述第二药蒸汽被吸入真空仓体,沉积于所述防水层上方形成疏水层。
S4:向所述真空仓体中通入连接气体,重复步骤S3,直至多个所述疏水层的累积厚度达到阈值。
进一步地,步骤S1中所述第一药物容器的数量为3个,3个所述第一药物容器存储的药物分别为全氟乙烯、氮化硅和疏水组分,所述疏水组分选自全氟乙烯和氟碳蜡中的一种或两种。
进一步地,所述第一药物容器中全氟乙烯、氮化硅和疏水组分的质量份数比为:10~20:5~10:15~30。
进一步地,制备方法还包括步骤S2之前的预处理步骤:
将第一支路流体和/或第二支路流体输送至混合器,混合均匀后输送至所述第二药物容器;和/或
将基体放入托盘推送至真空镀膜装置的所述真空仓体,对所述真空仓体抽真空;和/或
将所述第二药物容器温度升高至150~200摄氏度。
进一步地,步骤S1中的载气为氩气,所述氩气通入所述第一药物容器的流量为30sccm。
进一步地,步骤S4中所述连接气体为氦气,所述氦气通入所述真空仓体的流量为15~20sccm。
本发明实施例的另一目的在于提供一种纳米防水薄膜。该纳米防水薄膜采用如上所述的纳米防水薄膜的制备方法制备而成。
进一步地,所述的纳米防水薄膜包括防水层和疏水层,其中所述防水层位于沉积于基体的表面,由全氟乙烯和氮化硅交联形成;所述疏水层沉积在所述防水层上方。
本发明实施例的另一目的在于提供一种纳米防水薄膜的制备系统,该纳米防水薄膜的制备系统包括:
载气容器,所述载气容器用于输出载气;
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