[发明专利]纳米防水薄膜制备方法和制备系统

权利要求书

1.一种纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：向多个第一药物容器通入载气，所述载气和所述第一药物容器中的药物从所述第一药物容器中输出，形成混合流体，选择一部分所述混合流体形成第一支路流体，其余部分的所述混合流体形成第二支路流体；

S2:将所述第一支路流体输送至第二药物容器并转化成第一药蒸汽，所述第一药蒸汽被吸入真空仓体，沉积于设置在所述真空仓体的基体表面形成防水层；

S3：将所述第二支路流体输送至所述第二药物容器并转化成第二药蒸汽，所述第二药蒸汽被吸入真空仓体，沉积于所述防水层上方形成疏水层；

S4：向所述真空仓体中通入连接气体，重复步骤S3，直至多个所述疏水层的累积厚度达到阈值。

2.如权利要求1所述的纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中所述第一药物容器的数量为3个，3个所述第一药物容器存储的药物分别为全氟乙烯、氮化硅和疏水组分，所述疏水组分选自全氟乙烯和氟碳蜡中的一种或两种。

3.如权利要求2所述的纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，所述第一药物容器中全氟乙烯、氮化硅和疏水组分的质量份数比为：10～20：5～10：15～30。

4.如权利要求1所述的纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，还包括步骤S2之前的预处理步骤：

将第一支路流体和/或第二支路流体输送至混合器，混合均匀后输送至所述第二药物容器；和/或

将基体放入托盘推送至真空镀膜装置的所述真空仓体，对所述真空仓体抽真空；和/或

将所述第二药物容器温度升高至150～200摄氏度。

5.如权利要求1所述的纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中的载气为氩气，所述氩气通入所述第一药物容器的流量为30sccm。

6.如权利要求1所述的纳米防水薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S4中所述连接气体为氦气，所述氦气通入所述真空仓体的流量为15～20sccm。

7.一种纳米防水薄膜，其特征在于，采用如权利要求1-6中任一项所述的纳米防水薄膜的制备方法制备而成。

8.如权利要求7所述的纳米防水薄膜，其特征在于，包括：

防水层，所述防水层位于沉积于基体的表面，由全氟乙烯和氮化硅交联形成；

疏水层，所述疏水层沉积在所述防水层上方。

9.如权利要求8所述的纳米防水薄膜，其特征在于，所述疏水层包括氟碳蜡。

10.一种纳米防水薄膜的制备系统，其特征在于，包括：

载气容器，所述载气容器用于输出载气；

第一药物容器，所述第一药物容器用于储存药物，接收载气，输出混合流体；

第二药物容器；所述第二药物容器用于接收若干混合流体并将其转化为药蒸汽，将所述药蒸汽输出；

连接气体容器，所述连接气体容器用于输出连接气体；

真空镀膜装置，所述真空镀膜装置用于接收所述药蒸汽和所述连接气体，在基体表面镀膜。