[发明专利]一种透射电镜原位气相温差芯片

权利要求书

1.一种透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，包括上芯片和下芯片；所述上芯片和下芯片之间的四周封闭形成中空腔体；

在所述中空腔体内，所述下芯片的上表面设有呈一字形依次排列的气体出口、第一加热区、第二加热区、第三加热区和气体进口；

任一所述加热区内设有观察窗口，所述观察窗口下方设有贯穿所述下芯片的电子束视窗，所述电子束视窗内设有下薄膜窗口，所述上芯片中设有与所述下薄膜窗口相对应的上薄膜窗口。

2.根据权利要求1所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述第一加热区的加热丝形状为螺旋环形或圆盘形；所述第二加热区和第三加热区的加热丝形状为蛇形。

3.根据权利要求1或2所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述第一加热区的螺旋环形或圆盘形的加热丝形状的外径为150-220μm；所述第二加热区的蛇形加热丝形状的尺寸为(140-250)μm*(140-250)μm；所述第三加热区的蛇形加热丝形状的尺寸为(140-250)μm*(140-250)μm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述第一加热区与第二加热区的间距为140-160μm，所述第二加热区与第三加热区的间距为140-160μm。

5.根据权利要求1-4任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，任一所述加热区由外径为2-15μm的加热丝构成，相邻加热丝的间距为5～15μm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述观察窗口设于所述加热区的中心或加热丝间隙内。

7.根据权利要求1-6任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，任一所述加热区分别连接一组加压电极和一组温度测量电极。

8.根据权利要求1-7任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述中空腔体的高度为1-6μm。

9.根据权利要求1-8任一项所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述下芯片的上表面还设有凹形气路垫片，所述气体出口和气体进口分别设置在两个凹形气路垫片的凹部内，且所述两个凹形气路垫片的开口端相对设置。

10.根据权利要求9所述的透射电镜原位气相温差芯片，其特征在于，所述两个凹形气路垫片的高度为100-5000nm。