[发明专利]一种ITO旋转靶的装粉装置

说明书

本发明涉及靶材技术领域，公开了一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。本发明制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。

技术领域

本发明涉及靶材制备技术领域，特别是涉及一种ITO旋转靶的装粉装置。

背景技术

ITO旋转靶在成型过程中，需要先装粉制成素胚，然后将素胚烧结成靶材。然而现有的装粉过程均是通过人工拍打、夯实，不仅浪费人力，劳动效率低，而且制作的素胚粉体比较松散，密度不高，严重影响后期制作的靶材的质量。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种ITO旋转靶的装粉装置，提高装粉效率，降低劳动力，提高ITO旋转靶的成型密度，保证靶材的质量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。

优选地，所述模具主体包括橡胶套，所述橡胶套的上端可拆卸地盖合有模盖，所述橡胶套的下端插接有模座，所述芯轴的两端分别抵接在所述模盖与所述模座之间。

优选地，所述模盖上设有上卡槽，所述模座上设有下卡槽，所述芯轴的两端分别插接在所述上卡槽及所述下卡槽内。

优选地，所述模盖与所述橡胶套之间通过喉箍连接。

优选地，所述驱动机构包括旋转主轴，所述转轴主轴上设有旋转卡盘，所述旋转卡盘与所述模具主体可拆卸地连接。

优选地，所述旋转卡盘上设有用于连接所述模具主体的固定三爪。

优选地，所述锤击机构包括可沿所述模具主体的径向移动的锤击气缸，所述锤击气缸的活塞杆上设有锤头，所述锤击气缸驱动所述锤头锤击所述模具主体的外壁。

优选地，所述锤击机构还包括竖直设置的导轨，所述导轨上滑接有滑块，所述锤击气缸连接所述滑块。

本发明的实施例提供的一种ITO旋转靶的装粉装置，与现有技术相比，其有益效果在于：通过在模具主体的外侧可上下移动地设置锤击机构，并在模具主体的下端设置用于驱动其旋转的驱动机构，制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。

附图说明

图1为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的结构示意图。

图2为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的底部震粉与松开示意图。

图3为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的中部震粉与松开示意图。

图4为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的上部震粉与松开示意图。