[发明专利]一种基片转运装置

权利要求书

1.一种基片转运装置，其特征是，包括真空发生器、气体吹送器、转运机构和吹扫器，所述转运机构包括托架；所述托架适于平移，设有用于承载基片的承载面；所述承载面设有若干吸附孔，各所述吸附孔均连通所述真空发生器；所述吹扫器安装于所述托架且设有吹气通道；所述吹气通道连通所述气体吹送器，所述吹气通道相对所述承载面倾斜朝上延伸且出气口朝向所述承载面所在一侧；所述吹气通道的出气口的下端设有倾斜朝下的第一导风面；所述第一导风面所在平面与所述承载面所在平面的交线相对吸附于所述承载面上的基片的任意部位均较靠近于所述吹气通道的出气口。

2.如权利要求1所述的一种基片转运装置，其特征是，所述吹气通道的出气口为水平延伸的长条形开口，所述吹气通道的长度延伸方向与所述吹气通道的延伸方向垂直。

3.如权利要求2所述的一种基片转运装置，其特征是，所述吹气通道的出气口的上端设有第二导风面；所述第二导风面所在的平面相对所述吹气通道的延伸方向倾斜朝上。

4.如权利要求3所述的一种基片转运装置，其特征是，所述吹扫器包括吹气件和俯仰动力元件；所述吹气件上设有所述吹气通道；所述俯仰动力元件装设于所述托架，所述俯仰动力元件的输出端与所述吹气件上远离所述吹气通道的出气口的部分固接且适于带动所述吹气件绕与所述吹气通道的延伸方向垂直的水平轴线在预设角度范围内转动；所述吹气件转动时，所述第一导风面所在平面与所述承载面所在平面的交线始终相对基片上的任意部位较靠近于所述吹气通道的出气口。

5.如权利要求1至4中任一项所述的一种基片转运装置，其特征是，还包括真空压力传感器和节流阀及控制器；所述真空压力传感器装设于所述真空发生器且用于检测所述真空发生器工作时的真空度；所述节流阀装设于所述真空发生器的正压气源端；所述控制器与所述真空压力传感器和所述节流阀均电连接，用于接收所述真空压力传感器的信号，并在满足控制条件时控制所述节流阀工作。

6.如权利要求5所述的一种基片转运装置，其特征是，还包括粉尘传感器；所述粉尘传感器装设于所述托架且适于检测空气中的颗粒物浓度；所述控制器还与所述俯仰动力元件和所述粉尘传感器电连接，用于基于所述粉尘传感器的信号控制所述气体吹送器和所述俯仰动力元件以预设模式工作；所述预设模式包括所述气体吹送器的气体吹送量及所述俯仰动力元件输出端的转动角度和转动速度。

7.如权利要求5所述的一种基片转运装置，其特征是，还包括与所述控制器电连接的水平传感器；所述水平传感器装设于所述托架，用于检测所述承载面的水平度；

所述转运机构还包括移动主体和转动动力元件；所述转动动力元件装设于所述移动主体且适于由所述移动主体带动平移，所述转动动力元件的输出端与所述托架固接且适于带动所述托架绕水平轴向转动；

所述控制器还适于基于所述水平传感器的信号控制所述转动动力元件运行以使所述承载面始终保持水平。

8.如权利要求7所述的一种基片转运装置，其特征是，所述托架包括固定座和托臂；所述固定座与所述转动动力元件的输出端固接；所述托臂沿平行于所述转动动力元件的输出端的转动轴的方向延伸，其一端与所述固定座固接，其另一端的上表面设有所述承载面。

9.如权利要求7所述的一种基片转运装置，其特征是，还包括机架；所述移动主体包括第一水平驱动组件、竖向驱动组件、第二水平驱动组件、第一移动座、第二移动座和第三移动座；所述第一水平驱动组件装设于所述机架，其输出端与所述第一移动座固接且适于带动所述第一移动座沿水平的第一方向移动；所述竖向驱动组件装设于所述第一移动座，其输出端与所述第二移动座固接且适于带动所述第二移动座沿竖直方向移动；所述第二水平驱动组件装设于所述第二移动座，其输出端与所述第三移动座固接且适于带动所述第三移动座沿与所述第一方向垂直的水平的第二方向移动；所述转动动力元件装设于所述第三移动座。

10.如权利要求8所述的一种基片转运装置，其特征是，还包括与所述控制器电连接的振动传感器；所述振动传感器装设于所述托架且适于检测所述托架的振动情况；所述控制器适于接收所述振动传感器的信号，并在满足控制条件时控制所述气体吹送器、所述俯仰动力元件、所述转动动力元件和所述移动主体停止运行。