[发明专利]改善翘曲问题的晶圆载板

权利要求书

1.一种改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，包含：

一载板主体，包含：

一中心区；

一中央区，环绕该中心区；

一周边区，环绕该中央区；

多个中心通孔，位于该中心区；

多个中央通孔，位于该中央区；及

多个周边通孔，位于该周边区；

多个中心吸嘴，分别穿设于所述中心通孔，各该中心吸嘴与该载板主体之间具有一中心吸嘴高度差；

多个中央吸嘴，分别穿设于所述中央通孔，各该中央吸嘴与该载板主体之间具有一中央吸嘴高度差；以及

多个周边吸嘴，分别穿设于所述周边通孔，各该周边吸嘴与该载板主体之间具有一周边吸嘴高度差；

其中，该中心吸嘴高度差高于该中央吸嘴高度差，且该中央吸嘴高度差高于该周边吸嘴高度差。

2.如权利要求1所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，所述中心吸嘴、所述中央吸嘴及所述周边吸嘴皆由一抗静电材质制成，该抗静电材质为橡胶及硅胶的其中一者掺杂碳。

3.如权利要求1所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，所述中心吸嘴的任一者为一三折式风琴吸嘴，所述中央吸嘴及所述周边吸嘴的任一者为一二折式风琴吸嘴。

4.如权利要求3所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，

各该中心吸嘴包含一中心吸附盘部，该中心吸附盘部具有一第一厚度；及

各该周边吸嘴包含一周边吸附盘部，该周边吸附盘部具有一第二厚度；

其中，该第一厚度大于该第二厚度。

5.如权利要求1所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，更包含：

一分区控制器，连接所述中心吸嘴、所述中央吸嘴及所述周边吸嘴，并分别对该中心区的所述中心吸嘴、该中央区的所述中央吸嘴及该周边区的所述周边吸嘴的多个吸附状态进行分区控制。

6.如权利要求1所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，该周边区的所述周边通孔的数量大于该中央区的所述中央通孔的数量。

7.一种改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，包含：

一载板主体，包含：

一中央区，具有一中心；

一周边区，较该中央区远离该中心；

多个中央通孔，间隔环状排列于该中央区；及

多个周边通孔，间隔环状排列于该周边区；

多个中央吸嘴，分别穿设于所述中央通孔，各该中央吸嘴与该载板主体之间具有一中央吸嘴高度差；以及

多个周边吸嘴，分别穿设于所述周边通孔，各该周边吸嘴与该载板主体之间具有一周边吸嘴高度差；

其中，该中央吸嘴高度差高于该周边吸嘴高度差。

8.如权利要求7所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，所述中央吸嘴及所述周边吸嘴皆由一抗静电材质制成，该抗静电材质系为橡胶及硅胶的其中一者掺杂碳。

9.如权利要求7所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，所述中央吸嘴及所述周边吸嘴的任一者为一二折式风琴吸嘴。

10.如权利要求7所述的改善翘曲问题的晶圆载板，其特征在于，更包含：

一分区控制器，连接所述中央吸嘴及所述周边吸嘴，并分别对该中央区的所述中央吸嘴及该周边区的所述周边吸嘴的多个吸附状态进行分区控制。