[发明专利]一种仿真控制方法、设备及系统

权利要求书

1.一种仿真控制方法，其特征在于，包括：

建立基准时间序列和晶圆生产列表；所述基准时间序列包括顺序排列的多个时间元素；任意两个相邻的所述时间元素的时间差为第一预设时长阈值；所述晶圆生产列表包括顺次排列的多个已投产批次的生产信息；所述生产信息包括批次标识、投产状态和宣告时间；所述宣告时间表征通过模拟派工确定的已投产批次的所述投产状态的结束时间点；

每间隔第二预设时长阈值，按照时间先后顺序从所述基准时间序列中获取一个所述时间元素，并基于从所述基准时间序列中获取的所述时间元素，确定即时模拟时间；所述第二预设时长阈值小于所述第一预设时长阈值；

对任一确定的所述即时模拟时间，在下次重新确定之前执行以下步骤：将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较，并根据所述比较的结果，控制与所述宣告时间对应的所述已投产批次的所述投产状态的循环切换；其中，所述第一预设时长阈值大于完成任一所述将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较的过程的耗时。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述投产状态包括空闲状态和在产状态；所述空闲状态表征对应的所述已投产批次已进入一个生产步骤，且未开始上机；所述在产状态表征对应的所述已投产批次已开始上机，且未结束下货；所述循环切换包括同一生产步骤内的由所述空闲状态切换到所述在产状态，和在相邻的两个生产步骤间的由前一生产步骤的所述在产状态切换到后一生产步骤的所述空闲状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于从所述基准时间序列中获取的所述时间元素，确定即时模拟时间，包括：

将从所述基准时间序列中获取的所述时间元素赋值给所述即时模拟时间。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较，根据所述比较的结果，控制与所述宣告时间对应的所述已投产批次的所述投产状态的循环切换，包括：

逐一获取所述晶圆生产列表中各个所述已投产批次的所述宣告时间，并将所述逐一获取的所述宣告时间分别顺次赋值给待处理宣告时间；对任一赋值后的所述待处理宣告时间，在下次赋值之前执行以下步骤：

将所述即时模拟时间与所述待处理宣告时间作比较，若判断所述即时模拟时间不小于所述待处理宣告时间，则对与所述待处理宣告时间对应的所述已投产批次的所述投产状态进行所述循环切换。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述建立基准时间序列，包括：

响应于仿真系统启动，获取用户设定的仿真参数；所述仿真参数包括仿真时间长度和仿真日期参数；

基于所述仿真时间长度和所述第二预设时长阈值，确定仿真扫描次数；

根据所述仿真时间长度和所述仿真扫描次数，得到顺序排列的多个第一时间元素；

根据所述仿真日期参数，对顺序排列的多个所述第一时间元素分别进行时间平行移动，得到顺序排列的多个第二时间元素，并基于得到的顺序排列的多个所述第二时间元素，确定所述基准时间序列。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述仿真参数还包括扫描时长调整系数；所述基于所述仿真时间长度和所述第二预设时长阈值，确定仿真扫描次数，包括：

根据所述第二预设时长阈值和所述扫描时长调整系数，确定修正扫描时长；

根据所述修正扫描时长和所述仿真时间长度，确定所述仿真扫描次数。