[发明专利]伺服型振动检测器和振动控制装置

权利要求书

1.一种伺服型振动检测器，其特征在于，包括：

固定构件；

可动构件，设置成相对于所述固定构件在规定方向上能够移动，构成为磁通在内部流动；

弹性构件，将所述可动构件支承成相对于所述固定构件隔着空隙部配置；

位移检测部，检测所述可动构件的所述规定方向的位移；以及

驱动单元，在通过所述位移检测部检测到所述可动构件的从原点位置的相对位移的情况下，产生使所述可动构件返回到原点位置的电磁力，

所述驱动单元具备固定于所述固定构件的线圈，

所述可动构件至少具备形成闭环磁路的一部分的可动侧磁轭件。

2.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

所述可动构件还具备形成所述闭环磁路的永磁铁，

所述可动侧磁轭件与所述永磁铁的任意一个磁极面连结，并且该可动侧磁轭件配置在所述线圈内，

所述驱动单元构成为通过对所述线圈施加电流，利用电流流动的导线在磁场中受到的洛伦兹力的反作用力，使所述永磁铁和所述可动侧磁轭件在所述规定方向上移动。

3.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

还具备固定于所述固定构件并形成所述闭环磁路的永磁铁，

所述可动侧磁轭件相对于所述永磁铁的任意一个磁极面离开设置，并且该可动侧磁轭件配置在所述线圈内，

所述驱动单元构成为通过对所述线圈施加电流，利用电流流动的导线在磁场中受到的洛伦兹力的反作用力，使所述可动侧磁轭件在所述规定方向上移动。

4.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

所述位移检测部具备：

可动侧电极，设置于所述可动构件；以及

固定侧电极，以与所述可动侧电极相对的方式固定于所述固定构件，

构成为基于在所述可动侧电极与所述固定侧电极之间形成的静电电容的变化，检测所述可动构件的位移。

5.根据权利要求2所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

所述空隙部具备在所述闭环磁路内在所述可动构件与所述固定构件之间形成半径方向空隙的第一空隙部和第二空隙部，

所述第一空隙部固定配置有用于产生所述洛伦兹力的线圈，

所述第二空隙部是用于使磁通流过所述可动构件与所述固定构件之间的磁连结部。

6.根据权利要求5所述的伺服型振动检测器，其特征在于，由与所述永磁铁的任意一个磁极面连结并构成可动侧磁轭件的一部分的极片部、与该极片部或所述永磁铁的半径方向相对面隔着所述第一空隙部固定配置于所述固定构件的所述线圈、以及设置成使磁通在所述永磁铁的另一个磁极面与所述固定构件之间流动的所述磁连结部构成，由所述永磁铁、所述极片部、所述第一空隙部、所述固定构件、所述磁连结部形成闭环磁路。

7.根据权利要求5所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

构成可动侧磁轭件的一部分的极片部、以及在所述极片部与所述固定构件的空隙部内固定配置于所述固定构件的所述线圈，

所述极片部与所述永磁铁的任意一个磁极面隔着所述磁连结部配置，

所述永磁铁固定配置成使磁通在所述永磁铁的另一个磁极面与所述固定构件之间流动，由所述永磁铁、所述磁连结部、所述极片部、所述固定构件形成闭环磁路。

8.根据权利要求6所述的伺服型振动检测器，其特征在于，所述极片部以大致圆筒形状构成。

9.根据权利要求7所述的伺服型振动检测器，其特征在于，由在轴向上被磁化的所述永磁铁、与该永磁铁的一个磁极面连结的所述极片部、与该极片部的半径方向相对面隔着空隙部固定配置于所述壳体的内表面的所述线圈、设置成使磁通在所述永磁铁的另一个磁极面与所述壳体之间流动的所述磁连结部构成。