[实用新型]一种单片晶圆自动转换器有效
| 申请号： | 202123385124.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216488014U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴勇;朱爱峰;蔡爱军;顾广安 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 余莹 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单片 自动 转换器 | ||
1.一种单片晶圆自动转换器，包括工作台(3)，其特征在于：所述工作台(3)的上端中间设置有支撑架(9)，所述支撑架(9)的侧边设置有晶圆卡匣二(2)，所述工作台(3)的内部设置有驱动组件(10)，所述驱动组件(10)的上端设置有升降组件(7)，所述升降组件(7)的上端设置有晶圆推板(8)，所述工作台(3)的上端侧边设置有操作按钮(6)，所述工作台(3)的侧表面中间设置有电源开关(4)。
2.根据权利要求1所述的一种单片晶圆自动转换器，其特征在于：所述驱动组件(10)包括驱动马达(101)、滑轨(102)、丝杆(103)、滑座(104)和轴承座(105)，其中，所述工作台(3)的内部侧边设置有驱动马达(101)，所述驱动马达(101)的转轴设置有丝杆(103)，所述丝杆(103)的两端转动连接有轴承座(105)，所述丝杆(103)的表面嵌套有滑座(104)，所述工作台(3)的底部上端位于滑座(104)的两侧下端设置有滑轨(102)。
3.根据权利要求1所述的一种单片晶圆自动转换器，其特征在于：所述工作台(3)的表面位于电源开关(4)的侧边设置有马达控制器(5)。
4.根据权利要求1所述的一种单片晶圆自动转换器，其特征在于：所述工作台(3)的内壁位于滑轨(102)的侧边设置有两组限位开关(11)。
5.根据权利要求1所述的一种单片晶圆自动转换器，其特征在于：所述升降组件(7)包括升降板(71)、套筒(72)、螺杆(73)和电机(74)，其中，所述套筒(72)的下端设置有电机(74)，所述电机(74)的转轴连接有螺杆(73)，所述螺杆(73)的表面嵌套有升降板(71)。
6.根据权利要求5所述的一种单片晶圆自动转换器，其特征在于：所述套筒(72)中间设置有矩形槽，所述升降板(71)与套筒(72)内壁贴合，所述升降板(71)与螺杆(73)螺纹转动连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
