[实用新型]一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置。其中膜料承载件搬运机构包括放置台、抓取模组、驱动模组和升降模组，其中，膜料承载件放置于放置台上，放置台设置两个以上第一放置位；抓取模组用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件；驱动模组用于驱动放置台，以使某一第一放置位正对第一操作位；升降模组用于驱动正对第一操作位的第一放置位上的膜料承载件升降，以使待抓取的膜料承载件位于抓取平面。本实用新型放置台上设置有两个以上第一放置位，以增加盛放膜料承载件的数量；通过使第一放置位的膜料承载件升降，以适应不同型号，尤其是不同高度的膜料承载件，提高了膜料承载件搬运机构的通用性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置。

背景技术

真空蒸发镀膜是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，以形成镀层的工艺。待成膜物质通常盛放于膜料承载件内。现有技术中，膜料承载件的搬运机构主要针对某一型号膜料承载件进行搬运，通用性差。

所以，亟需一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置，以解决上述问题。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置，通用性好，搬运效率高。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种膜料承载件搬运机构，包括：

放置台，膜料承载件放置于所述放置台上，所述放置台设置两个以上第一放置位；

抓取模组，用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件；

驱动模组，用于驱动所述放置台，以使某一所述第一放置位正对所述第一操作位；

升降模组，用于驱动正对所述第一操作位的所述第一放置位上的所述膜料承载件升降，以使待抓取的所述膜料承载件位于所述抓取平面。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述抓取模组包括抓取本体和滑动设置于所述抓取本体上的两个手爪，两个所述手爪被第一驱动组件驱动以沿抓取方向相互靠近，以抓取所述膜料承载件。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述第一驱动组件包括：

两根连杆，一一对应地与两个所述手爪连接；

第一驱动件，两根所述连杆均与所述第一驱动件连接，所述第一驱动件能驱动两个所述连杆转动，以使两个所述手爪沿所述抓取本体滑动。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述抓取模组还包括复位组件，所述复位组件被配置为能使两个所述手爪具有相互远离的趋势。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述复位组件包括：

第二抓取滑块，滑动设置于所述抓取本体上，两个所述手爪均与所述第二抓取滑块连接，所述第一驱动组件的驱动端与所述第二抓取滑块连接，所述第一驱动组件能驱动所述第二抓取滑块滑动至两个所述手爪相互靠近的位置；

第二驱动件，与所述第二抓取滑块连接，所述第二驱动件能使所述第二抓取滑块滑动至使两个所述手爪相互远离的位置。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述第一放置位包括：

放置板，置于所述放置台上方，所述膜料承载件置于所述放置板上；

导向杆，穿设于所述放置台，一端与所述放置板连接，另一端与所述升降模组的驱动端连接。

作为一种膜料承载件搬运机构的优选方案，所述放置台上设置有定位销，所述定位销用于定位所述膜料承载件。