[实用新型]一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置

权利要求书

1.一种膜料承载件搬运机构，其特征在于，包括：

放置台(110)，膜料承载件(200)放置于所述放置台(110)上，所述放置台(110)设置两个以上第一放置位(111)；

抓取模组(120)，用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件(200)；

驱动模组(130)，用于驱动所述放置台(110)，以使某一所述第一放置位(111)正对所述第一操作位；

升降模组(140)，用于驱动正对所述第一操作位的所述第一放置位(111)上的所述膜料承载件(200)升降，以使待抓取的所述膜料承载件(200)位于所述抓取平面。

2.根据权利要求1所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述抓取模组(120)包括抓取本体(121)和滑动设置于所述抓取本体(121)上的两个手爪(122)，两个所述手爪(122)被第一驱动组件驱动以沿抓取方向相互靠近，以抓取所述膜料承载件(200)。

3.根据权利要求2所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述第一驱动组件包括：

两根连杆(123)，一一对应地与两个所述手爪(122)连接；

第一驱动件(126)，两根所述连杆(123)均与所述第一驱动件(126)连接，所述第一驱动件(126)能驱动两个所述连杆(123)转动，以使两个所述手爪(122)沿所述抓取本体(121)滑动。

4.根据权利要求2所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述抓取模组(120)还包括复位组件，所述复位组件被配置为能使两个所述手爪(122)具有相互远离的趋势。

5.根据权利要求4所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述复位组件包括：

第二抓取滑块(125)，滑动设置于所述抓取本体(121)上，两个所述手爪(122)均与所述第二抓取滑块(125)连接，所述第一驱动组件的驱动端与所述第二抓取滑块(125)连接，所述第一驱动组件能驱动所述第二抓取滑块(125)滑动至两个所述手爪(122)相互靠近的位置；

第二驱动件(124)，与所述第二抓取滑块(125)连接，所述第二驱动件(124)能使所述第二抓取滑块(125)滑动至使两个所述手爪(122)相互远离的位置。

6.根据权利要求1所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述第一放置位(111)包括：

放置板，置于所述放置台(110)上方，所述膜料承载件(200)置于所述放置板上；

导向杆(113)，穿设于所述放置台(110)，一端与所述放置板连接，另一端与所述升降模组(140)的驱动端连接。

7.根据权利要求1所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述放置台(110)上设置有定位销(114)，所述定位销(114)用于定位所述膜料承载件(200)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，还包括移动模组(150)，所述抓取模组(120)设置于所述移动模组(150)上，所述移动模组(150)被配置为能驱动所述抓取模组(120)在抓取位和第二操作位(3112)之间移动。

9.根据权利要求8所述的膜料承载件搬运机构，其特征在于，所述移动模组(150)包括升降组件(151)和平移组件(152)，所述升降组件(151)被配置为驱动所述抓取模组(120)在所述抓取平面和平移平面之间升降，所述平移组件(152)被配置为驱动所述抓取模组(120)在所述平移平面内平移。

10.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括镀膜机构(300)和为所述镀膜机构(300)搬运膜料承载件(200)的如权利要求1-9任一项所述的膜料承载件搬运机构(100)。