[实用新型]一种微细电路三光束激光刻蚀装置

权利要求书

1.一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上设有治具座(2)，所述底座(1)上设有用于调节治具座(2)位置的调节机构(3)，所述底座(1)上连接有支撑块(11)，所述支撑块(11)上安装板(12)，所述安装板(12)位于治具座(2)的上方，所述安装板(12)上设有定位组件(4)、实时检测组件(5)、测距仪(6)、高度补偿模组和控制单元，所述控制单元包括激光器和3D动态聚焦振镜(7)，所述高度补偿模组通过测距仪(6)测定光源距待刻蚀电路板表面的距离。

2.根据权利要求1所述的一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：所述调节机构(3)包括X轴滑轨(31)、Y轴滑轨(32)、Z轴升降机(33)和θ轴伺服转动座(34)，所述X轴滑轨(31)、Y轴滑轨(32)、Z轴升降机(33)和θ轴伺服转动座(34)由下至上依次连接设置，所述治具座(2)连接于θ轴伺服转动座(34)上。

3.根据权利要求1所述的一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：所述测距仪(6)使用激光三角测距的方法测定待刻蚀电路板高度。

4.根据权利要求1所述的一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：所述定位组件(4)为CCD定位相机，所述实时检测组件(5)为CCD实时检测相机，所述CCD定位相机通过图像处理算法对治具座(2)上的待刻蚀电路板进行定位；所述CCD实时检测相机实时检测微细电路刻蚀质量。

5.根据权利要求1所述的一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：所述安装板(12)上连接有除尘管(121)，所述除尘管(121)位于治具座(2)上方，所述除尘管(121)的除尘口朝向治具座(2)设置。

6.根据权利要求2所述的一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其特征在于：所述X轴滑轨(31)和Y轴滑轨(32)上连接有可伸缩防尘罩(8)。