[实用新型]一种电镀装置有效
| 申请号: | 202122999120.5 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN217203019U | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
| 发明(设计)人: | 武素衡 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司: | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人: | 张琦 |
| 地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电镀 装置 | ||
1.一种电镀装置,其特征在于,包括:
主体,包括容液槽;
正电极,位于所述容液槽内;
用于与待电镀件电连接的负电极,位于所述容液槽内;
第一驱动件,与所述正电极连接,所述第一驱动件用于驱动所述正电极沿第一预设方向移动;
其中,所述正电极包括电镀面,所述第一预设方向与所述电镀面垂直。
2.根据权利要求1中所述的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括:
夹具,与所述负电极连接,所述夹具用于固定所述待电镀件。
3.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括:
第二驱动件,与所述正电极连接,所述第二驱动件用于驱动所述正电极绕第二预设方向旋转,所述第二预设方向与所述第一预设方向平行。
4.根据权利要求2或3所述的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括:
第三驱动件,与所述夹具连接,所述第三驱动件用于驱动所述夹具绕第三预设方向旋转,所述第三预设方向与所述第一预设方向平行。
5.根据权利要求4所述的电镀装置,其特征在于,所述夹具上设置有用于放置所述待电镀件的卡槽,所述待电镀件放置于所述卡槽中时,所述待电镀件的外周与所述卡槽的内侧触接。
6.根据权利要求5所述的电镀装置,其特征在于,所述夹具与所述负电极电连接,所述夹具还用于与所述待电镀件电连接。
7.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述待电镀件固定于所述夹具上时,所述待电镀件包括靠近所述电镀面的待电镀面,且所述待电镀面与所述电镀面平行。
8.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述夹具与所述负电极可拆卸连接。
9.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括:
位置检测模块,与所述第一驱动件连接,所述位置检测模块用于检测所述待电镀件固定于所述夹具上时,所述正电极与所述待电镀件之间的间距。
10.根据权利要求9所述的电镀装置,其特征在于,
所述位置检测模块包括激光测距仪、超声波测距仪以及红外测距仪中的至少一种。
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