[实用新型]一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置有效
| 申请号： | 202122720341.4 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN215061215U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 薛佳勇;薛佳伟;王海军 | 申请（专利权）人： | 天津众晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F16P3/14 | 分类号： | F16P3/14 |
| 代理公司： | 天津市鸿图专利代理事务所(普通合伙) 12254 | 代理人： | 牛红梅 |
| 地址： | 300000 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 全自动 清洗 开门 安全 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门，其特征在于：所述开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC模块单元电连接，所述的PLC模块单元与交流接触器电连接，所述的交流接触器与空气开关连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，其特征在于：所述的防护门为四个，所述的闭合接近开关为四套，每个防护门均安装有一套闭合接近开关。
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