[实用新型]一种引线键合机的线夹结构有效
| 申请号: | 202122627845.1 | 申请日: | 2021-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN215988661U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
| 发明(设计)人: | 吴乔 | 申请(专利权)人: | 四川齐航盈创科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 王成 |
| 地址: | 610000 四川省成都市高新区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 引线 键合机 结构 | ||
1.一种引线键合机的线夹结构,包括基板(6)和驱动件,其特征在于:还包括位移放大构件,位移放大构件通过C型弹性梁(5)与所述基板(6)固定连接;还包括与位移放大构件连接的桥板(10),桥板(10)与所述驱动件的输出端连接,所述驱动件安装在所述基板(6)上。
2.根据权利要求1所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述位移放大构件包括L型的位移放大臂(2)和拉力臂(4),位移放大臂(2)和拉力臂(4)的数量均为两个,位移放大臂(2)和拉力臂(4)均以穿过所述驱动件和桥板(10)中心的线为对称轴对称设置,位移放大臂(2)通过C型弹性梁(5)与基板(6)固定连接,位移放大臂(2)的位移放大输入端与拉力臂(4)的一端铰接,拉力臂(4)的另一端与所述桥板(10)铰接。
3.根据权利要求2所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:还包括用于夹持金属引线(11)的夹臂(1),夹臂(1)的数量为两个且两个夹臂(1)以穿过所述驱动件和桥板(10)中心的线为对称轴对称设置,两个夹臂(1)分别与两个位移放大臂(2)的位移放大输出端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述夹臂(1)的轴线与位移放大臂(2)的轴线的夹角A范围为:20度~90度。
5.根据权利要求3所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述夹臂(1)的自由端上固定有夹片(12),夹片(12)上设有用于辅助定位的弧形结构(13),夹片(12)的材料为蓝宝石。
6.根据权利要求2所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述拉力臂(4)的两个端部均设置有柔性铰链(3),拉力臂(4)通过柔性铰链(3)与位移放大臂(2)的位移放大输入端及桥板(10)铰接,拉力臂(4)的轴线与所述驱动件的驱动方向相同,桥板(10)与驱动件的输出端固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述驱动件为压电陶瓷驱动器(9)。
8.根据权利要求1所述的一种引线键合机的线夹结构,其特征在于:所述基板(6)的底部还设有预紧螺栓(7),基板(6)上设有驱动件的预紧安装结构(8),驱动件通过预紧螺栓(7)和预紧安装结构(8)安装在基板(6)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





