[实用新型]一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置

权利要求书

1.一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，包括箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）的顶部设置有加压机构（2），所述箱体（1）的一侧固定设置有密封塞（11），所述密封塞（11）的一侧固定安装有放置板（10），所述放置板（10）的顶部固定安装有三个放置槽（14），所述箱体（1）的前后侧内壁上均固定安装有蛇形加热管（13），所述箱体（1）的一侧固定连通有真空泵（8），所述箱体（1）的另一侧设置有温度传感器（6），所述箱体（1）的底部固定安装有冷却筒（3），所述冷却筒（3）的底部固定安装有过滤网（4），所述过滤网（4）的顶部固定安装有风扇（16），所述箱体（1）的顶部设置有两个上电磁阀（5），所述箱体（1）的底部设置有下电磁阀（15）。

2.根据权利要求1所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述加压机构（2）包括固定安装在箱体（1）顶部的保护罩（19）和两个活动设置在箱体（1）内的齿条（23），所述保护罩（19）的顶部固定安装有电机（17），所述电机（17）的输出轴上固定安装有蜗杆（18），所述保护罩（19）的后侧内壁上转动安装有两个主动齿轮（21）和从动齿轮（22），两个主动齿轮（21）分别与对应的从动齿轮（22）相啮合，两个从动齿轮（22）分别与对应的齿条（23）相啮合，两个主动齿轮（21）的前侧均固定安装有蜗轮（20），所述蜗杆（18）和两个蜗轮（20）相啮合，两个齿条（23）的底端固定安装有同一个移动板（25），所述移动板（25）的底部固定安装有三个加压板（26）。

3.根据权利要求2所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述箱体（1）的顶部开设有两个通孔，两个齿条（23）分别滑动套接在对应的通孔内。

4.根据权利要求2所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述箱体（1）的顶部开设有两个滑孔，两个滑孔内均滑动套接有导向杆（24），两个导向杆（24）均固定安装在移动板（25）的顶部。

5.根据权利要求2所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述移动板（25）的底部固定安装有三个连接杆，三个连接杆分别固定安装在对应的加压板（26）的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述箱体（1）的另一侧内壁上固定安装有限位框（9），所述放置板（10）滑动套接在限位框（9）内。

7.根据权利要求1所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述箱体（1）的一侧开设有开口，所述密封塞（11）滑动密封套接在开口内，所述密封塞（11）上螺纹设置有两个螺杆（12），所述密封塞（11）通过两个螺杆（12）固定安装在开口内。

8.根据权利要求2所述的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，其特征在于，所述箱体（1）的另一侧固定安装有控制器（7），所述风扇（16）、下电磁阀（15）、上电磁阀（5）、真空泵（8）、温度传感器（6）、蛇形加热管（13）和电机（17）均与控制器（7）为电性连接。