[实用新型]插片清洗导片制绒一体机有效
| 申请号: | 202122250699.5 | 申请日: | 2021-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN216648335U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
| 发明(设计)人: | 连锦坤;申朝锋;胡滇建;平飞林 | 申请(专利权)人: | 隆基乐叶光伏科技(西咸新区)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;B08B3/08 |
| 代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
| 地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 清洗 导片制绒 一体机 | ||
1.一种插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,包括:顺次设置的插片单元、清洗单元、导片单元和制绒单元;
所述插片单元,用于将待清洗及制绒的硅片插入花篮中;
所述清洗单元,包括多个顺次设置的第一槽体,用于对所述硅片进行清洗;
导片单元,用于对清洗过的所述硅片更换花篮,包括第一机座,所述第一机座上设置有第一硅片输送模组,沿所述第一硅片输送模组的硅片输送方向,所述第一硅片输送模组的一端设置有第一花篮提升机构,所述第一花篮提升机构用于驱动其上放置的花篮在竖直方向上运动,另一端设置有第二花篮提升机构,所述第二花篮提升机构用于驱动其上放置的花篮在竖直方向上运动;所述第一花篮提升机构背离所述第一硅片输送模组的一侧设置有推片机构,所述推片机构连接于所述第一机座,所述推片机构具有沿水平方向可伸至所述第一花篮提升机构上方的推片件,所述推片件用于将所述第一花篮提升机构上放置的花篮中的硅片推至所述第一硅片输送模组;
所述制绒单元,包括多个顺次设置的第二槽体,用于对清洗后并更换花篮的所述硅片进行制绒。
2.根据权利要求1所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,所述第一花篮提升机构及所述第二花篮提升机构均包括花篮支撑件,所述花篮支撑件在所述第一机座上沿竖直方向高度可调。
3.根据权利要求1所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,
所述导片单元还包括隐裂检测模组,所述隐裂检测模组用于对清洗过的所述硅片进行隐裂检测。
4.根据权利要求3所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,
所述第一机座上固定连接有第一安装架,所述第一安装架具有位于所述第一硅片输送模组上方的第一安装部,以及位于所述第一硅片输送模组下方的第二安装部;
所述隐裂检测模组包括红外光发射器及红外摄像机,所述红外光发射器与所述红外摄像机二者之一固定连接于所述第一安装部,另一固定连接于所述第二安装部。
5.根据权利要求4所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,所述第一机座上固定连接有第二安装架,所述第二安装架具有位于所述第一硅片输送模组上方的第三安装部,所述第三安装部固定连接有风刀,所述风刀的出风口朝向所述第一硅片输送模组;
在所述硅片输送方向上,所述风刀位于所述第一花篮提升机构与所述隐裂检测模组之间。
6.根据权利要求1-5任一项所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,所述导片单元与所述制绒单元的连接处设置有区隔件,所述区隔件用于将所述导片单元及所述制绒单元区隔于所述区隔件的两侧;
所述区隔件具有通道,所述通道内吻合穿装有对接槽;所述对接槽具有相互连通的第一部分和第二部分,所述第一部分与所述导片单元位于所述区隔件的同一侧,所述第二部分与所述制绒单元位于所述区隔件的另一侧;所述第一部分和所述第二部分均设置有槽口,至少其中一个所述槽口处活动连接有槽盖;所述对接槽内设置有对接传送机构。
7.根据权利要求6所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,各所述槽口分别设置于所述第一部分和所述第二部分的顶部,且各所述槽口处均活动连接有所述槽盖。
8.根据权利要求6所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,所述对接传送机构包括皮带输送机,所述皮带输送机沿其自身的输送方向,自所述第一部分延伸至所述第二部分。
9.根据权利要求6所述的插片清洗导片制绒一体机,其特征在于,多个顺次设置的所述第一槽体依次为预洗槽、第一碱洗槽、第二碱洗槽、第三碱洗槽、第四碱洗槽、第一漂洗槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽、第四漂洗槽、第五漂洗槽、第六漂洗槽;且自所述第六漂洗槽至所述第三漂洗槽依次向下溢流连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





