[实用新型]一种金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板有效
| 申请号： | 202122190278.8 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215947397U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵运强;彭炜棠 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人： | 汪守勇 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金凸块 制造 溅镀机用 陶瓷 | ||
1.一种金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，包括：
安装部，所述安装部的一侧开设有容纳槽；
熔射部，所述熔射部固设于所述容纳槽的内部，所述熔射部上开设有多个圆形凹槽。
2.根据权利要求1所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述容纳槽内的内表面固设有固定件，所述固定件包括固定块，所述固定块上开设有中心孔，所述中心孔内表面的一侧开设有插孔。
3.根据权利要求2所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述熔射部的边侧设置有定位装置，所述定位装置包括安装腔，所述安装腔内表面的后侧开设有开口。
4.根据权利要求3所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述安装腔内表面的一侧固定连接有定位柱，所述定位柱的一端固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱的表面的螺纹连接有螺帽，所述螺帽表面的一侧固定连接有带动块。
5.根据权利要求1所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述容纳槽的内表面的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位件，所述限位件包括活动套，所述活动套的内部设置有连接棱柱，所述连接棱柱的一端固定连接有固定杆。
6.根据权利要求5所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述固定杆的一端贯穿活动套且延伸至活动套的外部，所述固定杆的表面且位于活动套的外部套设有弹性胶垫。
7.根据权利要求6所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述活动套的一侧固定连接有挡块，所述连接棱柱的长度值小于活动套内腔的长度值。
8.根据权利要求1所述的金凸块制造溅镀机用陶瓷洞板，其特征在于，所述熔射部背面的边侧开设有插槽，所述插槽内表面的一侧开设有连接槽，所述连接槽内表面的一侧开设有定位槽。
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