[实用新型]COC共料吸嘴有效
| 申请号: | 202122190266.5 | 申请日: | 2021-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN215955250U | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | 代克明;卢胜泉;王友辉;陈小玉 | 申请(专利权)人: | 深圳九州光电子技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/60;B23K37/00 |
| 代理公司: | 深圳市凯达知识产权事务所 44256 | 代理人: | 刘大弯 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市光明区玉塘街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | coc 共料吸嘴 | ||
1.COC共料吸嘴,包括Y轴直线电机(1)、B吸嘴Z轴直线电机(5)、B吸嘴(9)和A吸嘴(10),所述,Y轴直线电机(1)顶部设有顶板(2),所述顶板(2)一端设有竖板(3),所述竖板(3)一侧下半部设有防护设备箱(4),其特征在于:所述防护设备箱(4)一侧设有B吸嘴Z轴直线电机(5)和A吸嘴Z轴直线电机(6),所述B吸嘴Z轴直线电机(5)一侧设有B吸嘴连接架(7),所述A吸嘴Z轴直线电机(6)一侧设有A吸嘴连接架(8),所述B吸嘴连接架(7)一侧设有B吸嘴(9),所述A吸嘴连接架(8)一侧设有A吸嘴(10)。
2.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述顶板(2)顶部一侧设有A吸嘴吸真空电磁阀(201)、A吸嘴破正压电磁阀(202)、B吸嘴吸真空电磁阀(203)和B吸嘴破正压电磁阀(204)。
3.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述竖板(3)一侧设有B吸嘴吸附检查表(301)和A吸嘴吸附检查表(302)。
4.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述防护设备箱(4)顶部设有A吸嘴空气过滤器(401)和B吸嘴空气过滤器(402),所述A吸嘴空气过滤器(401)通过真空吸管与A吸嘴(10)连接,所述B吸嘴空气过滤器(402)通过真空吸管与B吸嘴(9)连接。
5.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述Y轴直线电机(1)一端与COC共晶机X轴直线电机滑动连接。
6.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述B吸嘴Z轴直线电机(5)与A吸嘴Z轴直线电机(6)为平行设置。
7.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述B吸嘴连接架(7)与A吸嘴连接架(8)呈L形。
8.根据权利要求1所述的COC共料吸嘴,其特征在于:所述Y轴直线电机(1)两端设有限位感应器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





