[实用新型]一种用于电镀设备的工装及电镀设备

说明书

本申请公开了一种用于电镀设备的工装及电镀设备，用于电镀设备的工装包括：本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。本申请通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

技术领域

本实用新型一般涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于电镀设备的工装及电镀设备。

背景技术

电镀设备应用于半导体制造，其配置有电镀用于电镀设备的工装，该滤芯用于过滤药液中的杂质。

在相关技术中，电镀用于电镀设备的工装包括上盖，内盖及载盘，载盘用于放置晶圆；内盖用于密封晶圆外围洗边位置，使洗边位置无法接触镀液，从而保证洗边位置不会镀上金；上盖旋紧后可将内盖与载台及产品压合紧密。

然而，上述用于电镀设备的工装存在密封效果不佳，使得镀液进入洗边位置进而导致漏镀现象。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于电镀设备的工装及电镀设备。

本申请提供一种用于电镀设备的工装，其包括：

本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；

密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；

吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。

作为可选的方案，所述出气孔的数量为多个，若干个所述出气孔沿所述容置槽周向布置。

作为可选的方案，所述出气孔与所述容置槽连通的开口位于所述容置槽的侧壁上。

作为可选的方案，所述出气孔与所述容置槽连通的开口靠近所述容置槽的底壁设置。

作为可选的方案，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线成锐角，其中，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线交点位于所述容置槽的开口一侧。

作为可选的方案，所述容置槽的侧壁上设置有腔体，所述腔体与所述出气孔连通，并且所述腔体与所述吹气组件连通。

作为可选的方案，所述腔体为环形。

作为可选的方案，所述吹气组件包括：吹气嘴，与气源相连通；及控制阀，所述控制阀用于控制所述吹气嘴的启闭

作为可选的方案，所述保护气体为氮气。

本申请还提供一种电镀设备，其包括用于电镀设备的工装。

本申请通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例提供的一种用于电镀设备的工装的示意图；

图2是图1的纵向方向的剖面图一；

图3是图1的纵向方向的剖面图二；

图4是图3的A-A方向的剖面图。

具体实施方式