[实用新型]一种用于电镀设备的工装及电镀设备有效
| 申请号： | 202121932657.3 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN216274428U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张冬欣 | 申请（专利权）人： | 通富微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 226006 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电镀 设备 工装 | ||
1.一种用于电镀设备的工装，其特征在于，包括：
本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；
密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；
吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。
2.根据权利要求1所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔的数量为多个，若干个所述出气孔沿所述容置槽周向布置。
3.根据权利要求1所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔与所述容置槽连通的开口位于所述容置槽的侧壁的内表面上。
4.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔与所述容置槽连通的开口靠近所述容置槽的底壁设置。
5.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线成锐角，其中，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线交点位于所述容置槽的开口一侧。
6.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述容置槽的侧壁上设置有腔体，所述腔体与所述出气孔连通，并且所述腔体与所述吹气组件连通。
7.根据权利要求6所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述腔体为环形。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述吹气组件包括：吹气嘴，与气源相连通；及控制阀，所述控制阀用于控制所述吹气嘴的启闭。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述保护气体为氮气。
10.一种电镀设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的用于电镀设备的工装。
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