[实用新型]一种半导体加工设备的散热设备

说明书

本实用新型公开了一种半导体加工设备的散热设备，包括加工设备本体，所述加工设备本体的左侧开设有第一开口，所述第一开口的内腔插接有出风管道，所述加工设备本体的右侧靠近顶部与底部处均开设有第二开口，所述加工设备本体的右侧固定连接有进风管道，所述进风管道的顶部靠近左侧处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴固定连接有动力杆，通过各部件间的相互配合，使得该设备具有通过联动关系使得对设备具有散热降温的同时，且具有对过滤网清理的功能，避免了人工长时间进行手动清理，降低了人工的劳动量，且清理效果相比较人工而言更加彻底，效率更高。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工设备的散热设备。

背景技术

随着半导体市场的持续快速发展，及市场对于半导体产品的巨大需求，半导体产品的生产者对于半导体设备的产能需求越来越高。

目前半导体加工设备在进行加工时存在设备过热导致影响其使用寿命，且散热设备多为通风设置，且通风口常常存在杂物和灰尘堵塞的情况出现，大大影响了内部散热设备的正常工作，存在一定的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的存在设备过热导致影响其使用寿命，且散热设备多为通风设置，且通风口常常存在杂物和灰尘堵塞的情况出现，大大影响了内部散热设备的正常工作，存在一定的安全隐患等缺陷，提供一种半导体加工设备的散热设备。所述一种半导体加工设备的散热设备具有通过各部件间的相互配合，使得该设备具有通过联动关系使得对设备具有散热降温的同时，且具有对过滤网清理的功能，避免了人工长时间进行手动清理，降低了人工的劳动量，且清理效果相比较人工而言更加彻底，效率更高等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工设备的散热设备，包括加工设备本体，所述加工设备本体的左侧开设有第一开口，所述第一开口的内腔插接有出风管道，所述加工设备本体的右侧靠近顶部与底部处均开设有第二开口，所述加工设备本体的右侧固定连接有进风管道，所述进风管道的顶部靠近左侧处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴固定连接有动力杆，所述加工设备本体的右侧靠近中心处固定连接有第一轴承，所述进风管道的内腔底部靠近中心处固定连接有固定杆，所述固定杆靠近顶端处固定连接有第二轴承，所述第二轴承与第一轴承的内腔共同贯穿有转杆，所述转杆的外侧边缘靠近左端处固定连接有转轴，所述转杆的右端固定连接有异形齿轮，所述进风管道的内腔顶部与顶部靠近右侧处均开设有滑槽，相邻的所述滑槽的内腔均活动连接有两个滚轮，相邻的两个所述滚轮之间共同固定连接有框架，所述框架的左侧靠近底部处固定连接有齿条，所述进风管道的内腔靠近右侧处固定连接有若干个刮料板，若干个所述刮料板的左侧共同与框架之间相互贴合设置。

优选的，所述框架的前后两侧均固定连接有若干个弹簧，若干个所述弹簧远离框架的一端均与进风管道的内腔侧壁固定连接，所述框架上开设有若干个矩形槽，若干个所述矩形槽的内腔与出风管道的内腔均固定连接有过滤网。

优选的，所述进风管道的开设有若干个矩形通孔，若干个所述矩形通孔从前至后依次呈线性排列。

优选的，两个所述滚轮以框架的中心为对称轴呈前后对称设置。

优选的，所述转杆的外边缘与动力杆的右端均固定连接有槽轮，相邻的两个所述槽轮之间设有皮带，相邻的所述槽轮通过皮带传动连接。

优选的，所述转轴的外侧边缘固定连接有若干个扇叶，若干个所述扇叶以转轴的中心为中心轴呈环形阵列状排列。

优选的，所述加工设备本体的底部固定连接有若干个支撑脚，若干个所述支撑脚以加工设备本体的底部中心为中心轴呈矩形阵列状排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过各部件间的相互配合，使得该设备具有通过联动关系使得对设备具有散热降温的同时，且具有对过滤网清理的功能，避免了人工长时间进行手动清理，降低了人工的劳动量，且清理效果相比较人工而言更加彻底，效率更高。

附图说明