[实用新型]导向轮组件及具有其的蚀刻设备

权利要求书

1.一种导向轮组件，其特征在于，包括：

内圈(10)；

外圈(20)，所述外圈(20)设置在所述内圈(10)的周向外侧且可相对所述内圈(10)转动，所述外圈(20)包括第一外圈(21)和第二外圈(22)，所述第二外圈(22)位于所述第一外圈(21)的周向外侧，所述第一外圈(21)与所述第二外圈(22)可拆卸地连接且所述第一外圈(21)可随所述第二外圈(22)同步转动，所述第二外圈(22)的第一端和所述第二外圈(22)的第二端均可装配至所述第一外圈(21)的周向外侧。

2.根据权利要求1所述的导向轮组件，其特征在于，所述第二外圈(22)的内壁和所述第一外圈(21)的外壁设置有相互配合的周向限位结构以使所述第一外圈(21)随所述第二外圈(22)转动。

3.根据权利要求2所述的导向轮组件，其特征在于，所述第一外圈(21)的外壁设置有外螺纹，所述第二外圈(22)的内壁设置有内螺纹，所述第一外圈(21)和所述第二外圈(22)通过螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的导向轮组件，其特征在于，所述第一外圈(21)的外壁设置有凸起，所述第二外圈(22)的内壁设置有与所述凸起相配合的凹槽。

5.根据权利要求4所述的导向轮组件，其特征在于，所述凸起为由所述第一外圈(21)的上边缘向所述第一外圈(21)的下边缘延伸的凸条，所述凹槽为沿所述第二外圈(22)的上边缘向所述第二外圈(22)的下边缘延伸的凹槽。

6.根据权利要求5所述的导向轮组件，其特征在于，所述凸条的轴线与所述第一外圈(21)的中心轴的轴线相平行。

7.根据权利要求5所述的导向轮组件，其特征在于，所述凸条的轴线呈螺旋状由所述第一外圈(21)的上边缘向所述第一外圈(21)的下边缘延伸。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的导向轮组件，其特征在于，所述第一外圈(21)的下边缘具有向周向外侧延伸的翻边。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的导向轮组件，其特征在于，所述导向轮组件还包括滚珠(30)和保持架，所述滚珠(30)和所述保持架均设置在所述外圈和所述内圈(10)之间，所述滚珠(30)设置在所述保持架内。

10.一种蚀刻设备，包括蚀刻设备本体和导向轮组件，其特征在于，所述导向轮组件为权利要求1至9中任一项所述的导向轮组件。